광표면 프로파일 측정기 구매

요약 AI 요약

반도체 공정 연구 및 교육을 위해 빛의 간섭을 이용해 표면 형상과 조도를 측정하는 비접촉식 3D 광표면 프로파일 측정기를 구매하고자 합니다.

• 백색광 간섭계(WLI) 및 위상천이 간섭계(PSI) 광학 프로파일러
• 자동 Z 포커싱 및 4-포지션 광학렌즈 터렛
• 200mm x 200mm X-Y 자동 스테이지
• 데이터 수집, 뷰어 및 분석용 소프트웨어(스티칭 기능 포함)
• 시스템 구동용 컴퓨터(4.7GHz 이상, 32GB RAM, 32인치 이상 모니터)
• 능동형(Active) 제진대 및 10um 단차 표준 샘플

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참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

직찰

입찰 일정

가격

추정가격

92,500,000원

배정예산

101,750,000원

부가세

9,250,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

표면분석기 (4111450801)

수량

1 ea

납품

계약 후 60일

인도조건

모름

제조물품

아니오

세부품명 등록

아니오

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

08/24(월)

공고번호

R26BK01695414-000

참조번호

산단 제2026-31호

공고기관

인제대학교 산학협력단

수요기관

인제대학교 산학협력단

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

92,500,000원

배정예산

101,750,000원

사전규격번호

R26BD00245690

재공고

아니오

출처

나라장터

첨부파일

• HWP · [입찰공고]광표면 프로파일 측정기 구매.hwp · 공고규격서
• PDF · [입찰공고]광표면 프로파일 측정기 구매.pdf · 공고규격서
• HWP · [규격서]광표면 프로파일 측정기 구매.hwp · 공고규격서
• HWP · [규격검토확인서]광표면 프로파일 측정기 구매.hwp · 공고규격서
• HWP · 입찰참가시 제출서류 서식-산단.hwp · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

과업·요구

A. 특 징 - 백색광 간섭계 방식의 비접촉식 3D 표면측정, 분석 - 반도체 공정 연구 또는 실험실습 교육에서 증착과 식각을 통해 패터닝된 시료에 직접 접촉하지 않고 빛의 간섭을 이용해 표면의 미세한 형상과 조도를 측정 - 특정 면적을 한 번에 스캔하여 데이터화하므로 효율이 높으며 수평방향 뿐만 아니라 수직방향에 대해 매우 높은 분해능을 제공 B. 기 기 구 성 - 백색광 간섭계(WLI) 광학 프로파일러 - 위상천이 간섭계(PSI) 광학 프로파일러 - 자동 Z 포커싱 - 2592 x 1944(5MP) camera 1X, 2X, 4X 디지털 줌 - 4-포지션 광학렌즈 터렛 - 20X 간섭계 대물렌즈 - 50X 간섭계 대물렌즈 - 200 mm x 200 mm X-Y 자동 스테이지 - 데이터 수집 및 뷰어 소프트웨어 - 데이터 분석용 소프트웨어 - 대면적 측정을 위한 스티칭 기능 - Windows 11 Pro 이상 버전 시스템 구동 프로그램 - 시스템 구동을 위한 컴퓨터 (≥4.7 GHz processor, 32GB RAM, 512GB SSD) 및 32인치 이상 모니터 - 제진대(Anti-vibration table) – Active 타입 - 검 교정 및 측정 신뢰도 확인용 10um 단차 표준 샘플 C. 상 세 구 성 - Z축 스캔 범위: ≥100 mm - Piezo 스캔 범위: ≥500 um - 수직 스캔 속도: ≥12 um/sec - 샘플 최대 중량: ≤2.5 kg - 스테이지 Tip / Tilt 조절 범위: ±5° - 두께 범위, 백색광 간섭계(WLI) 모드: 50 nm - 10 mm - 두께 범위, 위상천이 간섭계(PSI) 모드: 0 – 3 um - RMS 재현성(Repeatability), 백색광 간섭계(WLI) 모드: ≤1.0 nm - RMS 재현성(Repeatability), 위상천이 간섭계(PSII) 모드: ≤1.0 nm - 단차 높이 정확도(Accuracy): ≤0.7% @8 um 단차영역 - 단차 높이 정밀도(Precision): 0.1 %, 단차표준 10 um 샘플을 30회 측정한 값의 1σ - 단차 높이 안정성(Stability): 0.15 %, 단차표준 10um 샘플을 매일 30회씩 측정한 평균값들의 2σ, 20일 연속 측정 기준 - 샘플 반사도 영역: 0.05 % - 100 % - ISO 25178, 3차원 표면 거칠기 측정 및 분석에 관한 국제 표준 준수 D. 비 고

1. 설치 및 시운전 비용 포함 2. 설치 후 12개월의 무상 보증 서비스 3. 계약 후 60일 이내 납기 4. 자격이 있는 경력 엔지니어에 의한 설치 및 교육 5. 위 규격과 동등하거나 그 이상의 제품으로만 납품하여야 한다. ※ 유의사항 - 납품될 제품은 본 규격서의 사양과 동등 이상이어야 한다. - 납품될 제품에 대한 사양서 또는 카달로그 등을 지참 후 담당자(사용자) 확인을 필(必)하여야 한다. - 납품될 제품에 대한 제조사 공급 및 기술지원 확약서를 제출하여야 한다. === [규격검토확인서]광표면 프로파일 측정기 구매.hwp ===

규격검토 확인서

사. 사양(현장)설명회 일시 및 장소 : 2026년 9월 2일(수) 11:00, 인당관(본관) 701호 아. 입찰 등록 제출 마감일시 : 2026년 9월 11일(금) 10:00, 인당관(본관) 8층 산학협력단 자. 입찰 일시 및 장소 : 2026년 9월 11일(금) 11:00, 인당관(본관) 701호 ※ 상기 일정은 사정에 따라 변경될 수 있음. 3. 입찰참가자격 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 및 동시행령이 정한 바에 결격사유가 없는 업체 나. 제시된 규격의 동등 사양 이상 제품 납품이 가능한 자 다. 제조사로부터 제품 공급 증명원 및 기술지원확약서 제출 가능한 업체 (수입품의 경우, 국내 정식 수입원으로부터 제출 가능한 업체) 4. 입찰 보증금 : 입찰금액의 5/100이상을 현금 또는 이행보증보험증권을 납부하여야 하며, 낙찰 후 7일 이내에 계약을 체결하지 않을 경우에는 입찰보증금은 본교 산학협력단에 귀속 됨. ※(입찰보증기간) 보증기간은 입찰서 제출일(입찰일) 이전부터 개찰일 이후 30일 이상 보증 납부 필수 5. 입찰 무효 : 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 및 법률시행규칙의 입찰 무효 조건에 해당되는 경우 6. 입찰유의사항 가. 입찰참가 시 입찰내역을 정확히 숙지하고, 접수마감시간 이내에 제출 요망 나. 낙찰후 계약을 체결하지 않거나 이행을 하지 않는 등 국가계약법 제27조에 해당되는 경 우 부정당업자제재 또는 과징금부과 등의 불이익을 받을 수 있으니 과업이행여부 등을 사전에 충분히 검토하여 입찰에 참여 요망

참가자격

다. 제출된 서류는 일체 반환하지 않으며, 자료 제출에 소요되는 일체의 비용은 별도로 지 불하지 않음. 라. 입찰금액은 부가세(내자구매)를 포함한 금액으로 응찰하여야 함. 7. 입찰등록서류 가. 입찰참가신청서(본교 산학협력단 양식) 1부 나. 사업자등록증 사본 1부(원본대조필, 인감날인) 다. 인감증명서 1부(입찰등록일 기준 최근 3개월 이내 발행분) 라. 사용인감계 1부(사용인감 사용에 한함) 마. 위임장 1부(대리인 참가 시 해당) 바. 입찰보증금(4번 참조) 사. 납품실적증명서(산학협력단 양식, 관계기관 발행분 모두 사용 가능) 각 1부. 아. 규격검토 확인서 및 규격 비교표(첨부파일 참조) ※담당자 확인필 - 담당자 : 차세대AI반도체특성화대학사업단 임재영 교수(055-320-4084) - 행정직원 : 차세대AI반도체특성화사업단 김은혜(055-320-4084) 자. 청렴서약서 및 확약서, 개인정보 수집 이용 동의서 각 1부 차. 신용평가등급 확인서 1부 카. 제조사 제품 공급 증명원 및 기술지원 확약서 1부(해당 품목에 한함) 타. 기타 입찰에 필요한 서류 ※ 입찰 참가 시, 사용인감 필수 지참 ※ 기타사항: 본 입찰에 대해 낙찰자에 한해 신용평가등급 확인서 및 유사제품 납품(용역)실적 증명서(계약서 사본 및 관련 전산 자료로 대체 가능)를 반드시 제출하여야 함. - 입찰공고일 기준 최근 3년 이내에 완료한 실적, 실적증명서 발급일자 최근 2개월 이내 에 발급한 증명서에 대해서만 인정함.