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첨단산업 인재양성 디스플레이 부트캠프 트리플 스캔 측정용 3D 현미경 구매입찰

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공고 개요

재공고 · 유찰 · 한양대학교 에리카산학협력단 · 기타 연구장비

결과
유찰
참가
0곳 · 개찰 09/30(수)

요약 AI 요약

디스플레이·반도체 소자의 표면 형상, 단차, 거칠기 및 박막 구조를 정밀 계측·분석하는 실습 교육에 활용하기 위해 트리플 스캔 측정용 3D 현미경 1세트를 구매·설치하는 사업이다.

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 트리플 스캔 측정용 3D 현미경 구매·설치·교육

물품 › 연구·실험·계측장비 › 기타 연구장비

디스플레이·반도체 소자의 표면 형상·단차·거칠기·박막 두께를 정밀 계측·분석하는 3D 현미경(레이저 공초점·포커스 바리에이션·백색간섭) 1세트를 사서 설치·검교정·교육까지 대는 연구·실험·계측장비 구매다.

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가점수는 평가 합계가 80점을 기준으로 적합 및 부적합으로 판정한다. (80점 이상 적합)

배점표 (AI 요약)
평가 항목배점
공고 규격 또는 기술과의 적합성25점
규격서 각 항에 대한 확인 및 기술 검증자료(카달로그, 인증서, 설계서, 도면, 구성부품 내역 등)25점
장비 납품·설치 및 시험운영계획의 적정성20점
사후관리 및 품질보증계획의 적정성20점
기업신용평가등급(정량평가)10점
합계(항목을 더한 값)100점

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰
제출 방법
전자입찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시09/22(화)지남
입찰서 제출 시작09/22(화) 16:00지남
입찰참가자격 등록 마감09/29(화) 18:00지남
입찰서 제출 마감09/30(수) 10:00지남
개찰09/30(수) 11:00지남

가격

추정가격
90,000,000원
배정예산
99,000,000원
부가세
9,000,000원
예정가격 방식
단일예가

납품

품명
레이저현미경 (4111172301)
수량
1 set
납품
계약 후 30일
인도조건
설치 없음(납품만) · 수요기관희망장소입고도
제조물품
아니오
세부품명 등록
등록 필요

공고 정보

공고종류
재공고 (재입찰공고)
게시일
09/22(화)
공고번호
R26BK01741845-000
참조번호
한양대디스플레이부트캠프 - 11 호
공고기관
한양대학교 에리카산학협력단
수요기관
한양대학교 에리카산학협력단
계약방법
일반경쟁
낙찰방법
규격가격동시입찰
계약유형
총액계약
예정가격 방식
단일예가
추정가격
90,000,000원
배정예산
99,000,000원
사전규격번호
R26BD00259619
재공고
재공고
출처
나라장터

문서 발췌

과업·요구

=== 트리플 스캔 측정용 3D 현미경_제안요청서.pdf ===

트리플 스캔 측정용 3D 현미경

규격가격동시입찰 제안요청서

2026. 08. 25.

한양대학교 ERICA 산학협력단

1. 일반사항 1.1 사업자 선정방식 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제18조 (규격가격 동시입찰) 1.2 목적 부트캠프사업에서 교육하고자 하는 교과형과 몰입협의 수업에서 디스플레이·반도체 소자의 표면 형상, 단차, 거칠기 및 박막 구조를 정밀 계측·분석하여 소자 제작 결과 검증 및 공정 분석 실습 교육에 활용될 예정임.

1.3 적용 범위 본 제안요청서는 본 입찰 건과 관련된 장비의 구매 설치 등에 따른 우리 기관과 계약자 간 구매, 설치조건 등 관련 이행 제반사항에 대하여 규정한다. 1.4 지원 일반 가. 본 제안요청 및 입찰과 관련하여 입찰목적물의 사양은 우리 기관이 제시한 장비의 성능 및 제안사항을 반드시 준수하여야 한다. 나. 본 제안요청 및 입찰공고에 명기되지 않은 사항에 대해서도 낙찰자는 계약 목적물의 구 매 취지에 맞는 최신 기술 및 자재를 사용하여 납품해야 한다. 1.5 입찰 참가자격 가. 입찰 공고서에 따름 2. 공급범위 2.1 납품장소: 경기도 안산시 한양대학로 55, 맞춤의약연구원 2.2 납품기한: 계약 후 30일 이내(설치 및 장비 사용 교육 포함) 2.3 납품수량: 트리플 스캔 측정용 3D 현미경 1 Set 3. 장비규격 장비규격은 첨부된 물품구매규격서를 적용하며, 본 목적물을 위하여 필요하나 규격에 기재되 어 있지 않거나 부수적인 기술 사양에 대해서는 동등이상의 국제규격에 따른다. 4. 입찰자 준수사항 4.1. 입찰시 제출서류(규격, 가격 동시입찰) 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 우리 기관에서 제 안서 기술평가를 할 수 있도록 다음과 같은 내용을 포함한 ‘규격제안서(전자문서로 제출-공고 문 참조)’를 제출하여야 한다. (양식 자유). 만약 미제출되거나 허위기재 또는 기타 평가할 수 없는 사항에 대하여는 평가 제외될 수 있다. 4.2. 제출 구비서류

품 목
번 호		-세부품명번호
(10자리)		4111172301수량/단위1/SET
한글트리플 스캔 측정용 3D 현미경
품 명영문3D Microscope with 3 Measurements

※ 아래의 기본제원과 동일하거나 동등이상일 것

(The specifications should be equivalent or better than the following specifications) 1. 특징 본 장비는 광학 현미경, SEM, 형상 측정기·표면 거칠기 측정기의 기능, 특징을 모두 갖춘 확대 관찰·형상 측정 장비입니다. - 레이저 스캔을 통한 대상 표면의3D 입체형상 측정. - 비접촉 형상, 거칠기 측정 및 투명박막의 두께 측정. - 전처리 과정 없이 고해상도 컬러 이미지 관찰 2. 성능 및 규격 (1) 다양한 시료에 대한 형상 분석을 위한2가지 이상의 측정방식 채택 가) 핀 홀 공초점 방식 기능을 갖춘 레이저 공초점(고해상도, 고정밀 측정) 나) 레이저 광원 없이 광학식 면 스캔을 통한 입체 형상 측정(대면적, 고속 측정) 다) 백색간섭 무늬를 이용한 미세형상 측정(대면적, 고정밀 측정) (2) 최대 28800배의 배율로 촬영할 수 있을 것 (3) 최소 시야 범위 : 3600㎛ 이상 (저배율 렌즈 기준) (4) 최대 촬영 해상도 : 2048x1536 이상 (5) 프레임 레이트(레이저 측정속도) : 면측정 125Hz 이상, 선측정 7900Hz 이상. (6) 리니어스케일 모듈 : 0.1nm 이하 (7) 투명체 측정, 막두께 측정 기능 탑재 (8) XY오토스테이지 : 100 x 100mm 이상 (9) 측정용 광원(파장) : 404 nm 레이저, 백색 LED광원 (10) 측정용 렌즈 : 6개 이상 동시 장착 가능 (11) 측정 DATA : 이미지 및 로우 데이터, 오피스 호환, 여러 파일의 일괄분석, CSV전송기능 가능할 것 (12) 해석소프트웨어 : 홈페이지 라이센서 제공 및 CD 제공, 교내 복수 설치 가능. (13) 금속 시편의 거칠기가 난해할 경우 분석의 방향성을 제시할 수 있는 기능이 포함될 것 (14) 설계값 이나 공차를 입력하여OK/NG 판정할 수 있는 기능이 있을 것 (15) DLL을 통한 장비제어가 가능할 것(기술 지원 및 매뉴얼 첨부) (16) 87.1°의 가파른 경사면을 정확하게 검출 가능할 것 * 요구 규격

① Z 측정부(레이저 공초점) - 높이 표시 분해능: 0.1nm - 높이 반복 정도: 10x: 100nm, 20X: 40nm, 50x: 12nm - 높이 정확도: 0.2+L/100um 이하 ② Z 측정부(포커스 바리에이션) - 높이 표시 분해능: 0.01nm - 높이 반복 정도: 5x: 500nm, 10x: 100nm, 20X: 50nm, 50x: 20nm - 높이 정확도: 0.2+L/100um 이하 ③ Z 측정부(백색 간섭) - 높이 표시 분해능: 0.01nm - Surface Topography Repeatability : 0.08nm - RePeatability of RMS : 0.008nm 3. 표준 및 부속품 1. 현미경 ................................................................................................. 1 Set 1) 본체..................................................................................................... 1 EA 2) 측정부................................................................................................. 1 EA 3) 대물렌즈(5X, 10X, 20X, 50X, 150X)..................................... 5 EA

4) X, Y 전동 스테이지(X, Y Auto Stage) ........................... 1 EA 5) 컨트롤러(Controller Set)............................................................ 1 EA 2. 소프트웨어........................................................................................ 1 SET 1) 관찰 분석 소프트웨어................................................................... 1 SET 3. 설치 및 관리 메뉴얼...................................................................... 1 SET 4. 용도 및 AS기간 등 본 장비의 용도는 웨이퍼 표면의 관찰과3D 측정이며, 이를 용이하게 하는 모듈들이 포함되어야 합니다. - 오토 포커스 모듈: 관찰 시 자동으로 초점을 맞추는 모듈 - 네비게이션 기능 모듈: 전동XY 스테이지를 사용하여 샘플의 광역 화상을 작성하는 모듈 - HDR/더블 스캔 기능 모듈: 밝기를 바꾸면서 여러 번 데이터를 취득하여 다이내믹 레인지가 확장 된 화상 을 취득하는 모듈 - 계측 모듈: 치수를 계측하는 모듈 - 스케일 표시 모듈: 관찰 화면에 스케일을 표시하는 모듈 - RPD 기능 모듈: 빠르고 정확하게 측정 결과를 검출하는 알고리즘 - 심도 합성 기능 모듈: 피사계 심도가 깊은 화상을 취득하는 모듈 - 자동 상하한 설정 모듈: 대상 물체의 상한과 하한을 자동으로 인식하여 측정 레인지를 설정하는 모듈 - 간단 측정 기능 모듈: 각종 측정 조건을 자동으로 설정하여 간단히 측정할 수 있는 모듈 * AS 기간 (1) 하자보증: 검수검사 완료일로부터1년 (2) 납품기한: 계약체결일로부터2주 이내에 납품되어야 한다.

○ 낙 찰 자 결 정 방 법: 제안서적격자 중 예가 내 최저투찰자
○ 공동계약 및 구성방식: 불가
○ 규격: 규격서의 규격과 동일 혹은 그 이상
○ 납품장소: 한양대학교 ERICA 제2과학기술관
○ 추정가격: 99,000,000(부가가치세 포함)
○ 납품기한: 계약일로부터 30일 이내
○ 지역제: 없음
○ 검 사 및 검 수 기 관: 한양대학교 ERICA 산학협력단
○ 분할납품: 불가
○ 하 자 담 보 책 임 기 간: 검사완료일로부터 1년

참가자격

니다. ○ 「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률」 제11조제4항 및 같은 법 시행령 제5조제6항, 「조달청 협상 에 의한 계약 제안서 평가 세부기준」 제6조의2 및 제7조를 준용하여 처리합니다. ○ 입찰자는 수요기관에서 요구할 경우 제안서 내용이 수록된 CD/USB 또는 인쇄물형태의 제안서를 추가 제출하여야 합니다.

4. 입찰참가자격

아래의 입찰참가자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다. - 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 따라 반드시 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 나라장터(G2B 시스템)에 아래의 사항을 입찰참가자격으로 등록한 자 - 입찰참가자격등록 마감일시까지 트리플 스캔 측정용 3D 현미경 (세부품명번호 10자리 4111172301(트리플 스캔 측정용 3D 현미경)을 제조물품으로 입찰참가 등록한 자

※ 입찰참가자격등록

○ (등록장소) 조달청 조달등록팀 또는 각 지방조달청 경영지원과(팀) ○ (입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터 이용안내는 정부조달콜센터(☎ 1588-0800로 문의하시기 바랍니다. ○ (안전입찰) 입찰참가자는 전자입찰 시 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조 제1항 제 1-2호에 따라 나라장터 안전입찰서비스를 사용(이용자 선택사항)하여 입찰에 참가할 수 있으며, 이 경우 미리 해당 소프트웨어를 설치하여야 합니다. (자세한 사항은 안전 입찰서비스 유의사항 안내 참고) ○ (지문인식) 이 입찰은 「지문인식신원확인입찰」이 적용되므로 개인인증서를 보유한 대표자 또는 입 찰대리인은 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조제1항제5호에 따라 미리 지문정보 를 등록하여야 전자입찰서 제출이 가능합니다. 다만, 지문인식신원확인 입찰이 어려운 자는 「국가 종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조제1항제7호 및 제8호의 절차에 따라 예외적으로 개 인인증서에 의한 전자입찰서 제출이 가능합니다. ○ 다음에 해당하는 자는 입찰참가자격이 없음 -「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자 *입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰시 제출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제ㆍ해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 서약서 제출을 대신합니다.)