감광제 에셔 구매

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• [입찰공고]감광제 에셔 구매.hwp · 공고규격서
• [입찰공고]감광제 에셔 구매.pdf · 공고규격서
• [규격서]감광제 에셔 구매.hwp · 공고규격서
• [규격검토확인서]감광제 에셔 구매.hwp · 공고규격서
• 입찰참가시 제출서류 서식-산단.hwp · 공고규격서

공고 개요

인제대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

추정가격

8,000만원

개찰

10/07(수) 15:00 · 마감

낙찰방법

규격가격동시입찰

참가 자격

제한 없음

무슨 일

감광제 에셔(CCP 플라즈마 식각장비) 구매·납품

요약 AI 요약

인제대학교가 반도체 공정용 감광제 에셔(CCP 방식 플라즈마 공정 장비) 1대를 구매하는 사업이다. 플라즈마를 이용한 세정, 표면 활성화, 건식 식각 공정을 수행할 장비를 도입한다.

• CCP(Capacitively Coupled Plasma) 방식 플라즈마 공정 시스템
• 플라즈마 세정, 표면 활성화, 건식 식각 공정 수행
• 최대 6인치급 웨이퍼 공정 지원
• 공정 레시피 저장 및 재현 기능
• 공정 제어 및 모니터링 소프트웨어
• 플라즈마 공정 챔버, RF 전원공급장치 및 매칭장치, 진공 배기 시스템, 가스 공급·제어 시스템, 시료 가열 장치, 압력 측정·제어 시스템

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 감광제 에셔(CCP 플라즈마 식각장비) 구매·납품

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

CCP 플라즈마 방식으로 Plasma Cleaning·Surface Activation·Dry Etch를 수행하는 6인치 웨이퍼용 반도체·박막 공정장비를 사는 공고다.

• 규격서 사양(챔버·RF전원·진공배기·가스제어·가열·압력제어·공정제어 SW)에 맞는 제품 공급
• 사양서·카달로그 지참 후 담당자(사용자) 확인
• 제조사 제품 공급 증명원 및 기술지원 확약서 제출(수입품은 국내 정식 수입원)
• 납품장소(PRIME의생명공학관 J동 V304) 납품, 계약일로부터 90일 이내

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

직찰

입찰 일정

가격

추정가격

80,000,000원

배정예산

88,000,000원

부가세

8,000,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

웨이퍼식각기 (2321118001)

수량

1 ea

납품

계약 후 90일

인도조건

모름

제조물품

아니오

세부품명 등록

아니오

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

09/17(목)

공고번호

R26BK01734625-000

참조번호

산단 제2026-53호

공고기관

인제대학교 산학협력단

수요기관

인제대학교 산학협력단

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

80,000,000원

배정예산

88,000,000원

사전규격번호

R26BD00270615

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

A. 특 징 - CCP(Capacitively Coupled Plasma) 방식의 플라즈마 공정 시스템 - Plasma Cleaning, Surface Activation 및 Dry Etch 공정 수행 가능 - 최대 6인치급 웨이퍼 공정 지원 - 진공 환경에서 안정적인 플라즈마 생성 가능 - 사용자 친화적 공정 제어 및 모니터링 기능 제공 - 공정 Recipe 저장 및 재현 기능 지원 B. 기 기 구 성 - 플라즈마 공정 챔버 - RF 전원공급장치 및 매칭장치 - 진공 배기 시스템 - 가스 공급 및 제어 시스템 - 시료 가열 장치 - 압력 측정 및 제어 시스템 - 공정 제어용 소프트웨어 C. 상 세 구 성 - Chamber Material : SUS304 또는 동등 이상 - Wafer Size : 최대 6인치 이상 - RF Power : 최대 300 W 이상 - Vacuum System : Rotary Pump 및 Turbo Pump 포함 - Ultimate Vacuum : 1 × 10⁻⁴ Torr 이하 - Stage Heating : 최대 100 ℃ 이상 - Gas Control : 3 Channel 이상 - Pressure Measurement : 진공 압력 측정장치 포함 ※ 유의사항 - 납품될 제품은 본 규격서의 사양과 동등 이상이어야 한다. - 납품될 제품에 대한 사양서 또는 카달로그 등을 지참 후 담당자(사용자) 확인을 필(必)하여야 한다. - 납품될 제품에 대한 제조사 공급 및 기술지원 확약서를 제출하여야 한다. === [규격검토확인서]감광제 에셔 구매.hwp ===

사. 사양(현장)설명회 일시 및 장소 : 2026년 9월 29일(화) 14:00, 인당관(본관) 701호 아. 입찰 등록 제출 마감일시 : 2026년 10월 7일(수) 14:00, 인당관(본관) 8층 산학협력단 자. 입찰 일시 및 장소 : 2026년 10월 7일(수) 15:00, 인당관(본관) 701호 ※ 상기 일정은 사정에 따라 변경될 수 있음. 3. 입찰참가자격 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 및 동시행령이 정한 바에 결격사유가 없는 업체 나. 제시된 규격의 동등 사양 이상 제품 납품이 가능한 자 다. 제조사로부터 제품 공급 증명원 및 기술지원확약서 제출 가능한 업체 (수입품의 경우, 국내 정식 수입원으로부터 제출 가능한 업체) 4. 입찰 보증금 : 입찰금액의 5/100이상을 현금 또는 이행보증보험증권을 납부하여야 하며, 낙찰 후 7일 이내에 계약을 체결하지 않을 경우에는 입찰보증금은 본교 산학협력단에 귀속 됨. ※(입찰보증기간) 보증기간은 입찰서 제출일(입찰일) 이전부터 개찰일 이후 30일 이상 보증 납부 필수 5. 입찰 무효 : 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 및 법률시행규칙의 입찰 무효 조건에 해당되는 경우 6. 입찰유의사항 가. 입찰참가 시 입찰내역을 정확히 숙지하고, 접수마감시간 이내에 제출 요망 나. 낙찰후 계약을 체결하지 않거나 이행을 하지 않는 등 국가계약법 제27조에 해당되는 경 우 부정당업자제재 또는 과징금부과 등의 불이익을 받을 수 있으니 과업이행여부 등을 사전에 충분히 검토하여 입찰에 참여 요망