PP Wet scrubber system 구매

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공고 개요

유찰 · 한국해양대학교 산학협력단 · 수처리 설비

결과

유찰

참가

0곳 · 개찰 09/30(수)

요약 AI 요약

실험 중 발생하는 용해도가 높은 유해가스를 습식으로 중화시켜 대기오염을 방지하기 위해 PP Wet Scrubber System 2식을 구입·설치하는 사업이다. 산성가스용과 유기용 스크러버를 각각 설치하고, 팹 배기 덕트·물 공급배관·보관실·독성가스 배관 재포설까지 포함한다.

• 산성가스 처리용 PP Wet Scrubber(1,200×1,200×2,350mm, PP White, 380V 3Φ)와 유기용 Wet Scrubber 각 1식, 총 2식 공급
• pH 자동 제어(산용 pH 9~11, 유기용 pH 7~9) 및 약품 자동 투입 계통(NaOH/KOH/Ca(OH)₂, NaOCl)
• 비상상황 검출 시스템: 팬 고장·샤워펌프 고장·누액·탱크 수위 이상(95%/35%)·약품 잔량 부족 시 감지→알람→인터록→안전정지
• Fab exhaust duct 설치: 산배기용 최장 50M, 유기배기용 최장 40M, Φ300, 벽면 타공 및 실외 구간 연결
• 장비별 hook up 배관(21개 장비, 산/유기/일반 구분, sus304·PVC·bellows) 및 scrubber용 물 공급배관(최장 50M, 수동밸브 10개소)
• Scrubber 보관실(5,000×8,000×3,000mm) 형성 및 Acid scrubber 연계 독성가스(BCl₃, Cl₂, GN₂) 배관 재포설(웰딩, He leak test)

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · PP Wet Scrubber System 본체 2식 제작·납품

물품 › 환경·위생 › 수처리 설비

산성·유기 유해가스를 습식으로 중화·정화하는 스크러버 본체(탱크·노즐·순환펌프·pH제어·배기팬·stack 포함)를 제작·납품하는 것이 사업의 몸통이다.

• 산·유기 스크러버 각 1식(총 2식) 제작
• pH 제어·약품 투입 계통
• 순환펌프·노즐 스프레이 시스템
• 유도배기팬·stack·비상검출 인터록
• 현장설치·시운전
• 작동법 교육 및 운영인력 교육
• 하자담보 1년 사후관리(점검·수리·대체장비 대여)

딸린 일 · Fab exhaust duct 및 hook-up 배관·부대공사

공사 › 기계설비·가스 › 건물·시설 기계설비

팹 천정에서 스크러버까지 산·유기 배기 duct(Φ300, 최장 50M/40M)와 장비별 hook-up 배관, 물 공급배관, toxic gas 배관 재포설 등 현장 배관 시공이 포함된다.

• 산배기용·유기배기용 duct 설치(벽면 타공 포함)
• 장비별 hook-up 배관 port(21개 장비)
• scrubber용 물 공급배관(최장 50M, 보온)
• Acid scrubber 연계 toxic gas 배관 재포설 및 He leak test
• emergency bypass isolation valve
• 청정실 출력단 배기팬 설치

딸린 일 · Scrubber 보관 room 형성

공사 › 건축 › 종합건축(신축·증축·대수선)

실외 공조영역에 5,000×8,000×3,000mm 규모의 스크러버 보관실(양개문·투명창·전등·환기루버·eye wash 공간)을 조성하는 소규모 건축 작업이다.

• 외부검사용 투명 windows
• 입구 양개문
• 전등 및 스위치
• 환기 louvers
• maintenance clearance 800mm 이상 확보
• eye wash station 공간확보

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 종합평점이 배점한도(100점)의 85%(85점) 이상인 자에 한하여 가격입찰을 실시한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

90,272,727원

배정예산

99,300,000원

기초금액

99,300,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

9,027,273원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

가스정제장치 (4110491101)

수량

2 식

납품

계약 후 60일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

09/11(금)

공고번호

R26BK01724751-000

참조번호

중앙물품-2026-101

공고기관

한국해양대학교 산학협력단

수요기관

한국해양대학교 산학협력단

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

90,272,727원

배정예산

99,300,000원

사전규격번호

R26BD00271512

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

나. 납품 설치 및 시운전 다. 작동법 설명 및 장비 운영 인력에 대한 교육 라. 점검, 수리 등 사후관리

Ⅱ 일반사항

1. 입찰참가자격

가. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제12조에 의해 입찰참가 자격을 갖춘 업체 나. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제76조에 해당되지 않는 업체 다. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」(조달청고시 제2022-21호, 2022.10.04.)에 의하여 반드시 조달청 나라장터(G2B)에 입찰마감일 전일까지 실험용공기여과시스템(4110491101)으로 입찰참가등록한 업체 ※ 납품 시 나라장터 목록정보시스템을 참고하여 물품식별번호를 제공하여야 함 라. 「중소기업기본법」제2조에 따른 소기업 및「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 소기업･소상공인확인서를 소지한 업체 ※ 상기 소기업･소상공인확인서는 중소기업 공공구매종합정보망(http:// www.smpp.go.kr)에 등록･확인이 되어야 함

2. 납품 및 설치 관련

가. 계약상대자는 납품기한 내에 발주처에서 지정한 납품장소에 본 장비를 설치(조립/배송 포함) 완료하여야 한다. 나. 장비 납품 시 시험 테스트 중 이상이 발생하였을 경우 동일 제품으로 즉시 교체하여야 한다.

다. 물품은 제조사에서 출고한 원형대로 납품하되, 출고 시 포함된 옵션 등은 목록상에 언급되지 않더라도 가격에 포함된 경우에는 반드시 함께 납품되어야 한다. 라. 물품은 비공식적인 경로로 수입된 제품이 아닌 각 제조사의 정품이어야 하며, 시스템을 구성하는 모든 구성품들은 신품이어야 한다. (동일 모델 구형 버전 납품불가) 마. 수요기관 측이 준비한 시설의 설치에 필요한 악세서리 등의 부자재는 공급업체에서 부담한다.

3. 검사･검수 및 교육 관련

가. 계약자는 본 장비의 사용자 입회하에 운영 검사 및 안정성 검사를 완료한 후 납품하여야 하며, 필요 시 본 장비의 성능 검사서를 제출하여야 한다. 나. 계약상대자는 납품 후 검사･검수 요청하며 발주처에서 지정한 절차에 의해 검사･검수를 필하여야 한다. 다. 설치, 시운전, 검수 등에 필요한 모든 경비는 계약상대자가 부담하여야 한다.

4. 사후관리

가. 기술지원 및 하자담보책임기간: 제품 가동시험 합격일로부터 1년 나. 계약상대자는 발주처의 요청에 따라 하자보증기간 내 점검을 실시해야 하며, 장비 운영에 장애가 발생한 경우 점검･수리･대체장비 대여 등 성실하고 신속하게 해결조치를 취해야 한다.

5. 기타사항

가. 본 제안요청서에 거론되지 아니한 사항에 대하여는「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」등 관련 법령을 적용한다. 나. 본 제안과 관련하여 규정에 명시된 이외의 사항에 대해 분쟁이 있을 경우 통상적 관례 및 발주처의 결정에 따라야 한다.

다. 계약상대자로 선정된 업체가 정당한 사유 없이 발주처의 보완 및 요구사항에 응하지 않거나, 계약 또는 설계 및 시공에 관한 권리를 포기하는 경우에는 선정을 무효화 할 수 있다. 라. 사업결과에 따른 장비 및 산출물(매뉴얼 등)에 대한 소유권은 발주처에 있다. 마. 다음의 각 호에 해당하는 경우 발주처는 계약상대자 선정 취소 또는 계약해제･해지 할 수 있으며, 이에 따라 발생하는 손해 등에 대해서는 계약상대자로 선정된 자가 책임을 져야 한다. 1) 제출서류에 허위사실을 기재하거나 중대한 미비사항이 있을 경우 2) 심사에 영향을 주기 위해 제출서류 등에 본인임을 나타내는 특정한 기록, 암호 표시 등 불공정 행위를 한 경우 3) 제출안이 과장되거나 시행이 불가능한 내용으로 제안한 경우 4) 참가자격에 미달하는 경우 5)「특허법」및 관련 법령 등을 위배한 경우 6) 사업의 목적을 현저히 충족시키지 못하는 경우 7) 상기 사유 외에 제안서평가위원회에서 실격으로 판정한 경우

Ⅲ 제안서 평가 및 제출

1. 평가방법 및 기준

가. 제안서 평가는 사업부서에서 구성한 제안서평가위원회에서 아래 제안서 평가항목 의거하여 평가한다. 나. 평가위원의 평가점수 중에서 최저 및 최고점을 제외한 평균점수(소수점 셋째자리에서 반올림)를 산정하고, 종합평점이 배점한도(100점)의 85%(85점) 이상인 자에 한하여 가격입찰을 실시한다.

배점·평가

< 세부 평가기준 및 평점표 >

가. 정량적 평가

주1) 경영상태 및 신용평가

과업·요구

3. 제안 규격의 주요 요건

※ 아래의 기본제원과 동일하거나 동등 이상일 것

1. 산,유기스크러버 장비구동순서 . start up: 전원공급 → 탱크수위확인 → 순환펌프가동 → 노즐분사 → 배기팬가동 . normal operation: gas 배출 → scrubber진입 → 노즐분사액 접촉 → packing → mist eliminator → 배출stack → 정화액 회수 → 센서감지 → 자동보정 . 장비 미사용시 모든 작동이 저풍량 작동 2. scrubber공통사항 1) 외형 규격 - 수량: 1 Set - 용도: 산성가스 처리용 Wet Scrubber - 외형: Size : 1,200 × 1,200 × 2,350 mm - 재질: PP White - 전원: 380V 3Φ 4Wire 2) 제어 체제 - 수위 제어 . Float Level Sensor . Water Make-up Solenoid Valve - Alarm 기능 . High level water stop, Low Level Alarm & Interlock 3) 자동 급수 및 레벨 제어(ISO인증제품) . Float Level Sensor . Water Make-up 자동 공급 . 정화액 레벨 검출 . 자동 차단장치(Solenoid Valve) . pump: 220V 1Φ 40W

4) Spray System - Nozzle 수량 : 16 EA . Size/Material/Type : 3/8" / PVDF 또는 PTFE / Full Cone . Spray Angle/Pressure : 90~120° / 1.5~2.5 bar - 부대설비: Nozzle inspection windows 5) Circulation System(ISO인증제품) - Motor: 0.18kW, 220V 1Φ, 2대/system (1대 drain 연동) - Circulation Pump Capacity/Head : 100 LPM / 10 mH - 순환유량: 14~24 m³/hr - Sump Tank Capacity : 200~400L - Tank 부속품 . Inspection Manhole . Overflow Nozzle . bottom sludge cleanout port 6) 폐수 계통 - 폐수 배관 . 배관 길이 : 약 30m . 폐수 배수단 밸브 : 2 Point (Scrubber출구#1, 폐수탱크 입구#2) . Monitoring용 Sump Tank Drain sampling port : 1 Point - Drain: Manual Valve . 폐수 드레인 시 레벨센서 연동, 자동 밸브 잠금장치 - Waste Tank Connection 7) 시설 - Leak 대응 . 바닥 물받이 Tray . Leak Sensor 설치 . 누액 감지 시 Alarm 및 Interlock - emergency button

2. Acid Wet Scrubber #1 2-1. pH제어 및 알람 - pH 제어, pH Sensor, pH Controller, Chemical Dosing Pump 연동 - pH 운전범위 . Normal : pH 9 - 11 . Target : pH 6 - 8 - Alarm 설정 . Low Alarm: 1차 : pH 9.0 / 2차 : pH 8.0 . High Alarm: 1차 : pH 11.5 / 2차 : pH 12.0 2-2. 약품 공급 계통 - Neutralizing Chemical: NaOH, KOH, Ca(OH)₂ - 농도: 1~2 wt% - Chemical storage tank: 10L - Dosing System: Automatic Dosing Pump, Dosing Line Check Valve - Sampling: pH Sampling Port 2-3. 배기 처리 능력 - Inlet / Outlet Duct diameter : Φ300 - 처리풍량: 60 CMM (3,600 CMH Maximum), 150mmAq - 유속: Duct Velocity 10 ~ 15 m/s, Tower Superficial Velocity 0.8 ~ 1.5 m/s - Induced Draft Fan: 3.7 kW, 5 HP, 380V 3Φ - stack 높이: 3~5M - 부속장치: Fan Vibration Isolator, Emergency Stop Local Switch, Stack Rain Cap - 전기작업: 실외 모든 배선의 flexible 보호관 및 FMC처리

3. Organic Wet Scrubber #1 3-1. 제어 및 알람 - pH 제어, pH Sensor, pH Controller, Chemical Dosing Pump 연동 - pH 운전범위 . Normal : pH 7 ~ 9 . Target : pH 6 - 8 - Alarm 설정 . Low Alarm: 1차 : pH 7.0 / 2차 : pH 6.5 . High Alarm: 1차 : pH 9.5 / 2차 : pH 10.5 3-2. 약품 공급 계통 - Neutralizing Chemical: Water + NaOCl Wet Scrubbing / Water Scrubber + Activated Carbon Tower (후단) - 농도: 1~2 wt% - Chemical storage tank: 10 L - Dosing System: Automatic Dosing Pump, Dosing Line Check Valve - Sampling: VOC Sampling Port & pH sampling port 3-3. 배기 처리 능력 - Inlet / Outlet Duct diameter : Φ300 - 처리풍량: 60 CMM (3,600 CMH Maximum) 150mmAq - 유속: Duct Velocity 8 ~ 12 m/s, Tower Superficial Velocity 0.8 ~ 1.2 m/s - Induced Draft Fan: 3.7 kW, 5 HP, 380V 3Φ 4선 - stack 높이: 3~5M - 부속장치: Fan Vibration Isolator, Emergency Stop Switch, Stack Rain Cap - 전기작업: 실외 모든 배선의 flexible 보호관 및 FMC처리

① scrubber stop 급수 → ② valve close → ③ drain open → ④ overflow check → ⑤ restart 4-2) tank level low @35% (증발 / 폐수 배출 후 미보충 / leak / 급수 불량) ① 자동 water make-up → ② chemical dosing 정지 → ③ pump 보호 → ④ red alarm → ⑤ pump stop interlock → ⑥ 장비,공정 interlock signal → ⑦ restart 5) chemical dosing low level (leak / over supply / pH 변화 / scaling / foam / overflow / dosing line 파손) ① level sensor detection → ② dosing pump OFF → ③ chemical tank isolation valve close ④ red alarm → ⑤ water make-up stop → ⑥ pH 확인 → ⑦ scrubber continue or stop 판단 → ⑧ operator chemical valve open → ⑨ restart 5. Fab exhaust duct 설치 5-1. 장소: 1차 반도체공정실험실습관 팹 천정에서 팬까지 2차 팬에서 건물외벽을 경유한 후 습식 스크러버까지 (max 6 elbows) 5-2. 작업방법 . hanger band bolt 고정을 통해 견고하게 작업 . duct연결부는 socket 및 PVC용접 진행(용제 및 누수) . 건물 외벽: 타공 및 배관으로 연계한다. . 건물 내: duct 천정고정체 형성 . 건물 외: 벽체 고정 . emergency bypass isolation valve 5-2. 배기별 요구사항

1) 산배기용 duct - 길이: 최장길이 50M - 배관의 직경: Φ300 - 배관의 종류: sus or PP - 배관 연결부: 90도 형성(유속방지를 위해 elbow최소화) - 모니터링용 window: 4 points (PP or tempered glass) - 벽면타공: 300Φ × 두께최대 300mm - exhaust Fan과 연결 - 유지보수 및 확장성 . 연결장비: ICP Dry Etcher 포함 5 Point . 예비포트 및 마감: Spare Connection : 3 Port (Duct Flange Blind Cover) 2) 유기배기용 duct - 길이: 최장길이 40M - 배관의 직경: Φ300 - 배관의 종류: sus or PP - 배관 연결부: 90도 형성(유속방지를 위해 elbow최소화) - 모니터링용 window: 4points (PP or tempered glass) - 벽면타공: 300Φ × 두께최대 300mm - exhaust Fan과 연결 - 유지보수 및 확장성 . 연결장비: ALD 포함 3 Point . 예비포트 및 마감: Spare Connection : 4 Port (Duct Flange Blind Cover) -배기출구는 실외공조기 인입구와 10M이상 이격 및 방향 분리 6. 장비별 hook up 배관 port

- hook up pipe: 배기종류따라 반응이 없는 재질로 선택 - 체결방법: metal flange, metal bandage, bonding - 사용 및 작업금지 방법 : 배관틈새를 Al tape로 이음, Al foil bellows - flexible vibration joint 포함 - maintenance access hatch 7. scrubber용 물 공급배관 - 종류: 일반 상수 - 길이: 반도체 팹 ~ scrubber 구간 최장 50M - manual 밸브: 총 10points . 중간 T 분기 전후단 수동밸브 3points . 건물 출구 전후 측 2points . 실외공조기 T 분기 3points . scrubber 입력단 1point . 중간 물검사용 1point - 배관연결부: 누수가 있어서는 안된다. - 배관의 고정방법: 바닥 또는 벽면에 고정구조체를 이용해 고정한다. - 배관의 실외 전 구간은 보온재료로 마감해야 한다 - 물배관의 포설은 모두 90도 각도로 형성시킨다 - 보온배관은 들뜸이 없도록 전 구간 마감처리를 한다. 특히 연결부를 작업해야 한다. 8. 청정실 출력단 배기팬

1) 청정실 출력단 . in.outlet: bell mouth . Fan의 in/outlet은 배관 또는 reducer로 작업 . Fan의 고정은 vibration isolation hanger 이용 9. scrubber 보관room 형성 1) 장소: 국립한국해양대학교 반도체공정실험실습관 실외 공조영역 2) 면적: 5,000×8,000×3,000mm (stack 높이 감안) 3) 외부검사용 투명 windows 4) door1: 입구 양개문(여닫이형) 5) 전등 및 스위치 - 환기 louvers - maintenance clearance 800mm 이상 - eye wash station 공간확보 10. Acid scrubber 연계 toxic gas 배관 재포설 - gas종류: BCl3, Cl2, GN2 - 작업범주: toxic gas box 전 구간 - 작업내용 . gas piping 신규포설 및 기존배관 철거폐기 포함 . process 용 GN2 regulator digital type 신설분리 . digital signal line의 장비 controller 연결 - 배관형성방법: welding only - 검수방법 . gas 배관교체 후 He gas를 이용한 leak test 실시 (He gas 검출 Δ변화 시 불합격) . 장비gas turn on 시 MFC값 1sec내로 SV/PV 맞출 것 . 배관교체 후 MFC hunting (overshooting or under generation 2회 발생시 불합격) - 기타 . box screw all new change

○ 설치장소 : 국립한국해양대학교 내 지정장소 A. 특징 실험중 화학 반응 시 발생하는 유해가스를 대기로 배출하기 전에 안전하게 제거·정화함 B. 규격 1. 산,유기스크러버 장비구동순서 . start up: 전원공급 → 탱크수위확인 → 순환펌프가동 → 노즐분사 → 배기팬가동 . normal operation: gas 배출 → scrubber진입 → 노즐분사액 접촉 → packing → mist eliminator → 배출stack → 정화액 회수 → 센서감지 → 자동보정 . 장비 미사용시 모든 작동이 저풍량 작동 2. scrubber공통사항 1) 외형 규격 - 수량: 1 Set - 용도: 산성가스 처리용 Wet Scrubber - 외형: Size : 1,200 × 1,200 × 2,350 mm - 재질: PP White - 전원: 380V 3Φ 4Wire 2) 제어 체제 - 수위 제어 . Float Level Sensor . Water Make-up Solenoid Valve - Alarm 기능 . High level water stop, Low Level Alarm & Interlock 3) 자동 급수 및 레벨 제어(ISO인증제품) . Float Level Sensor . Water Make-up 자동 공급 . 정화액 레벨 검출 . 자동 차단장치(Solenoid Valve) . pump: 220V 1Φ 40W 4) Spray System - Nozzle 수량 : 16 EA . Size/Material/Type : 3/8" / PVDF 또는 PTFE / Full Cone . Spray Angle/Pressure : 90~120° / 1.5~2.5 bar - 부대설비: Nozzle inspection windows

5) Circulation System(ISO인증제품) - Motor: 0.18kW, 220V 1Φ, 2대/system (1대 drain 연동) - Circulation Pump Capacity/Head : 100 LPM / 10 mH - 순환유량: 14~24 m³/hr - Sump Tank Capacity : 200~400L - Tank 부속품 . Inspection Manhole . Overflow Nozzle . bottom sludge cleanout port 6) 폐수 계통 - 폐수 배관 . 배관 길이 : 약 30m . 폐수 배수단 밸브 : 2 Point (Scrubber출구#1, 폐수탱크 입구#2) . Monitoring용 Sump Tank Drain sampling port : 1 Point - Drain: Manual Valve . 폐수 드레인 시 레벨센서 연동, 자동 밸브 잠금장치 - Waste Tank Connection 7) 시설 - Leak 대응 . 바닥 물받이 Tray . Leak Sensor 설치 . 누액 감지 시 Alarm 및 Interlock - emergency button 2. Acid Wet Scrubber #1 2-1. pH제어 및 알람 - pH 제어, pH Sensor, pH Controller, Chemical Dosing Pump 연동 - pH 운전범위 . Normal : pH 9 - 11 . Target : pH 6 - 8 - Alarm 설정 . Low Alarm: 1차 : pH 9.0 / 2차 : pH 8.0 . High Alarm: 1차 : pH 11.5 / 2차 : pH 12.0 2-2. 약품 공급 계통 - Neutralizing Chemical: NaOH, KOH, Ca(OH)₂ - 농도: 1~2 wt% - Chemical storage tank: 10L - Dosing System: Automatic Dosing Pump, Dosing Line Check Valve - Sampling: pH Sampling Port 2-3. 배기 처리 능력 - Inlet / Outlet Duct diameter : Φ300 - 처리풍량: 60 CMM (3,600 CMH Maximum), 150mmAq - 유속: Duct Velocity 10 ~ 15 m/s, Tower Superficial Velocity 0.8 ~ 1.5 m/s - Induced Draft Fan: 3.7 kW, 5 HP, 380V 3Φ - stack 높이: 3~5M - 부속장치: Fan Vibration Isolator, Emergency Stop Local Switch, Stack Rain Cap - 전기작업: 실외 모든 배선의 flexible 보호관 및 FMC처리

3. Organic Wet Scrubber #1 3-1. 제어 및 알람 - pH 제어, pH Sensor, pH Controller, Chemical Dosing Pump 연동 - pH 운전범위 . Normal : pH 7 ~ 9 . Target : pH 6 - 8 - Alarm 설정 . Low Alarm: 1차 : pH 7.0 / 2차 : pH 6.5 . High Alarm: 1차 : pH 9.5 / 2차 : pH 10.5 3-2. 약품 공급 계통 - Neutralizing Chemical: Water + NaOCl Wet Scrubbing / Water Scrubber + Activated Carbon Tower (후단) - 농도: 1~2 wt% - Chemical storage tank: 10 L - Dosing System: Automatic Dosing Pump, Dosing Line Check Valve - Sampling: VOC Sampling Port & pH sampling port 3-3. 배기 처리 능력 - Inlet / Outlet Duct diameter : Φ300 - 처리풍량: 60 CMM (3,600 CMH Maximum) 150mmAq - 유속: Duct Velocity 8 ~ 12 m/s, Tower Superficial Velocity 0.8 ~ 1.2 m/s - Induced Draft Fan: 3.7 kW, 5 HP, 380V 3Φ 4선 - stack 높이: 3~5M - 부속장치: Fan Vibration Isolator, Emergency Stop Switch, Stack Rain Cap - 전기작업: 실외 모든 배선의 flexible 보호관 및 FMC처리

① scrubber stop 급수 → ② valve close → ③ drain open → ④ overflow check → ⑤ restart 4-2) tank level low @35% (증발 / 폐수 배출 후 미보충 / leak / 급수 불량) ① 자동 water make-up → ② chemical dosing 정지 → ③ pump 보호 → ④ red alarm → ⑤ pump stop interlock → ⑥ 장비,공정 interlock signal → ⑦ restart 5) chemical dosing low level (leak / over supply / pH 변화 / scaling / foam / overflow / dosing line 파손) ① level sensor detection → ② dosing pump OFF → ③ chemical tank isolation valve close ④ red alarm → ⑤ water make-up stop → ⑥ pH 확인 → ⑦ scrubber continue or stop 판단 → ⑧ operator chemical valve open → ⑨ restart 5. Fab exhaust duct 설치 5-1. 장소: 1차 반도체공정실험실습관 팹 천정에서 팬까지 2차 팬에서 건물외벽을 경유한 후 습식 스크러버까지 (max 6 elbows) 5-2. 작업방법 . hanger band bolt 고정을 통해 견고하게 작업 . duct연결부는 socket 및 PVC용접 진행(용제 및 누수) . 건물 외벽: 타공 및 배관으로 연계한다. . 건물 내: duct 천정고정체 형성 . 건물 외: 벽체 고정 . emergency bypass isolation valve 5-2. 배기별 요구사항

1) 산배기용 duct - 길이: 최장길이 50M - 배관의 직경: Φ300 - 배관의 종류: sus or PP - 배관 연결부: 90도 형성(유속방지를 위해 elbow최소화) - 모니터링용 window: 4 points (PP or tempered glass) - 벽면타공: 300Φ × 두께최대 300mm - exhaust Fan과 연결 - 유지보수 및 확장성 . 연결장비: ICP Dry Etcher 포함 5 Point . 예비포트 및 마감: Spare Connection : 3 Port (Duct Flange Blind Cover) 2) 유기배기용 duct - 길이: 최장길이 40M - 배관의 직경: Φ300 - 배관의 종류: sus or PP - 배관 연결부: 90도 형성(유속방지를 위해 elbow최소화) - 모니터링용 window: 4points (PP or tempered glass) - 벽면타공: 300Φ × 두께최대 300mm - exhaust Fan과 연결 - 유지보수 및 확장성 . 연결장비: ALD 포함 3 Point . 예비포트 및 마감: Spare Connection : 4 Port (Duct Flange Blind Cover) -배기출구는 실외공조기 인입구와 10M이상 이격 및 방향 분리 6. 장비별 hook up 배관 port

- hook up pipe: 배기종류따라 반응이 없는 재질로 선택 - 체결방법: metal flange, metal bandage, bonding - 사용 및 작업금지 방법 : 배관틈새를 Al tape로 이음, Al foil bellows - flexible vibration joint 포함 - maintenance access hatch 7. scrubber용 물 공급배관 - 종류: 일반 상수 - 길이: 반도체 팹 ~ scrubber 구간 최장 50M - manual 밸브: 총 10points . 중간 T 분기 전후단 수동밸브 3points . 건물 출구 전후 측 2points . 실외공조기 T 분기 3points . scrubber 입력단 1point . 중간 물검사용 1point - 배관연결부: 누수가 있어서는 안된다. - 배관의 고정방법: 바닥 또는 벽면에 고정구조체를 이용해 고정한다. - 배관의 실외 전 구간은 보온재료로 마감해야 한다 - 물배관의 포설은 모두 90도 각도로 형성시킨다 - 보온배관은 들뜸이 없도록 전 구간 마감처리를 한다. 특히 연결부를 작업해야 한다. 8. 청정실 출력단 배기팬 1) 청정실 출력단

. in.outlet: bell mouth . Fan의 in/outlet은 배관 또는 reducer로 작업 . Fan의 고정은 vibration isolation hanger 이용 9. scrubber 보관room 형성 1) 장소: 국립한국해양대학교 반도체공정실험실습관 실외 공조영역 2) 면적: 5,000×8,000×3,000mm (stack 높이 감안) 3) 외부검사용 투명 windows 4) door1: 입구 양개문(여닫이형) 5) 전등 및 스위치 - 환기 louvers - maintenance clearance 800mm 이상 - eye wash station 공간확보 10. Acid scrubber 연계 toxic gas 배관 재포설 - gas종류: BCl3, Cl2, GN2 - 작업범주: toxic gas box 전 구간 - 작업내용 . gas piping 신규포설 및 기존배관 철거폐기 포함 . process 용 GN2 regulator digital type 신설분리 . digital signal line의 장비 controller 연결 - 배관형성방법: welding only - 검수방법 . gas 배관교체 후 He gas를 이용한 leak test 실시 (He gas 검출 Δ변화 시 불합격) . 장비gas turn on 시 MFC값 1sec내로 SV/PV 맞출 것 . 배관교체 후 MFC hunting (overshooting or under generation 2회 발생시 불합격) - 기타 . box screw all new change C. 용도 * 본 제품은 실험시 발생하는 용해도가 높은 유해 Gas를 습식으로 중화시켜 배출함으써 대기오염을 방 지하는 목적으로 제작된 제품이다. * 본 제품은 Gas 성분에 따라 흡수액에 특정 Chemical을 투입하여 보다 효율적으로 사용할 수 있다. D. 기타사항 *장비의 설치 및 정상적인 운전을 위하여 1차 utility(Fab exhaust duct) 및 2차 utility의 설치 및 모든 연결을 포함하여야 한다. *설치에 필요한 자재, 부속품, 운반, 설치 및 시공에 소요되는 일체의 비용은 계약금액에 포함한다. *설치 후 연결 및 정상 작동 여부를 확인하여야 한다. *현장 여건에 따른 규격 및 설치 위치는 발주기관과 협의하여야 한다. *장비의 정상적인 사용에 필요한 설치 및 부대공사는 계약상대자의 부담으로 한다. === [공고서] PP Wet scrubber system 구매.hwp ===