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에어베어링 리니어 스테이지 구매
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- 01_물품 규격서(에어베어링).hwp · 공고규격서
공고 개요
재공고 · 유찰 · (주)힘스 · 전원·UPS·축전지·발전기
- 결과
- 유찰
- 참가
- 0곳 · 개찰 08/12(수)
요약 AI 요약
6G급 FMM 스틱 검측정 장비 구축을 위해 초정밀 이송 및 위치결정용 리니어 스테이지 시스템을 제작하고 설치합니다.
- 에어베어링 갠트리 스테이지(1Gantry 2Head 방식) 및 자재 이송용 트랜스퍼 스테이지
- 진동 최소화를 위한 석정반 및 능동형 진동 제어 장치(Active Isolator)
- 저열팽창 유리 스케일 및 5nm/count 이하 분해능의 리니어 엔코더
- 갠트리 틀어짐 억제(Yaw 제어) 및 진동 억제 알고리즘(VSA) 지원 모션 컨트롤러
- 클린룸 대응 케이블 체인 및 클린 케이블
- 축별 정밀도 데이터가 포함된 성능 측정 성적서
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 08/06(목) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 08/06(목) 16:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 08/11(화) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 08/12(수) 11:00 | 지남 |
| 개찰 | 08/12(수) 12:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 458,181,818원
- 배정예산
- 504,000,000원
- 부가세
- 45,818,182원
- 예정가격 방식
- 단일예가
납품
- 품명
- 리니어모터 (2610120701)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 30일
- 인도조건
- 모름
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 아니오
공고 정보
- 공고종류
- 재공고 (재입찰공고)
- 게시일
- 08/06(목)
- 공고번호
- R26BK01670201-000
- 참조번호
- 2298135638
- 공고기관
- (주)힘스
- 수요기관
- (주)힘스
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 단일예가
- 추정가격
- 458,181,818원
- 배정예산
- 504,000,000원
- 사전규격번호
- R26BD00255176
- 재공고
- 재공고
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
| 품명 및 규격 Description | 단위 Unit | 수량 Quantity |
|---|---|---|
| 에어베어링 리니어 스테이지 (AirBearing Linear Stage) | set | 1 |
I. End-user's Use(용도)
본 장비는6G급FMM(Fine Metal Mask) 스틱 검·측정 장비 구축을 위한 초정밀 이송 및 위치결정용 리니어 스테이지 시스템입니다. - 1Gantry 2Head 방식 에어베어링 갠트리 스테이지를 통한 비전/측정 헤드의 초정밀 구동 - FMM 스틱 및 자재의 로딩·이송(Transfer) - 석정반 및Active Isolator 적용으로 진동 및 외부 환경 영향 최소화 II. Performance and Specification(성능 및 규격) (1) 시스템 구성: Bottom Frame + Active Isolator + 석정반(Granite Stage) + Gantry 2축+ Gantry Head 2축+ Transfer 3축 일체형 시스템 (2) Bottom Frame: S'Q Pipe & Steel 용접 구조, Wedge Mount 적용, Active Isolator 탑재 (3) 갠트리(AGY1, AGY2)축: 2축 동기 구동, Coreless 리니어 모터, 에어베어링 가이드, 유효 스트로크1,550mm 이상 (4) 갠트리 헤드(AHX1~2)축: 각 축 개별 구동, Coreless 리니어 모터, 에어베어링 가이드, 유효 스트로크1,600mm 이상, 가반하중90kg 이상(전/후면 각 슬라이드 기준) (5) 트랜스퍼(CBY1, CBY2)축: 개별 구동, Core 타입 리니어 모터, LM Guide, 유효 스트로크1,800mm 이상, 가반하중800kg 이상 (6) 트랜스퍼(CBX1)축: 개별 구동, Core 타입 리니어 모터, LM Guide, 스트로크±10mm 이상 (7) 리니어 엔코더: 갠트리부 저열팽창 유리 스케일(Zerodur급 또는 동등 이상), Signal Period 20㎛, 분해능5nm/count 이하 (8) 모션 컨트롤러: Power PMAC급 이상, Cross-Coupled Method 기반 갠트리Yaw 제어 및Vibration Suppression Algorithm(VSA) 적용 가능할 것 (9) Dynamic Yaw 제어를 통한 갠트리 틀어짐 억제(±1㎛ 수준) 가능할 것 (10) 리니어 모터는 온도 센서 내장형을 사용할 것 (11) 케이블 체인은 클린룸 대응형(Cableveryor Quantum Series 또는 동등 이상), 가동 케이블은 클린 케이블(Gore Cable 또는 동등 이상)을 적용할 것 (12) 축별 상세 사양은 「V. 성능 및 사양」의 사양표를 만족할 것 (13) 추후 수냉식 리니어 모터로 변경 가능 할 것
IV. Remarks(기타)
(1) 하자보증: 검수검사 완료일로부터1년 (2) 납품기한: 계약체결일로부터 30일 이내에 납품·설치되어야 한다. (3) CBY1~2 슬라이드 상부 가공품은 발주기관 사급 자재이며, 공급사는 이를 인수하여 조립한다. (4) CBX1축의Coil, Magnet, Encoder, Scale은 발주기관과 협의된 사양의 부품을 적용한다. (5) 납품 시 발주기관의 리니어 스테이지 공통 제작 사양서에 준하여 제작할 것. V. 성능 및 사양(Performance and Specification) 1. 주요사항 1) 1Gantry 2Head 방식의 에어베어링 갠트리 스테이지 시스템 2) 석정반+ Active Isolator 기반 제진 구조 3) Cross-Coupled Method 적용Dynamic Yaw 제어 및VSA를 통한 시스템 진동 제어 4) 축별 정밀도는 아래 사양표를 만족하며, 납품 시 측정 성적서를 제출할 것 2. 축별 상세 사양
| 구분 | AGY1, AGY2 축 (Gantry) | AHX1~2 축 (Gantry Head) | CBY1, CBY2 축 (Transfer) | CBX1 축 (Transfer) |
|---|---|---|---|---|
| Motion | AGY1, AGY2축 동기 구동 | AHX 각 축 개별 구동 | CBY1, CBY2축 개별 구동 | CBX1축 개별 구동 |
| Linear Motor | Coreless | Coreless | Core | Core |
| Guide Way | Air Bearing | Air Bearing | LM Guide | LM Guide |
| Full Travel | 1,550mm 이상 | 1,600mm 이상 | 1,800mm 이상 | ±10mm 이상 |
| Payload | - | 90kg 이상 (전/후면 각 슬라이드) | 800kg 이상 (@CBY12 Slider) | - |
| Maximum Velocity | 500mm/sec 이상 | 500mm/sec 이상 | 500mm/sec 이상 | 50mm/sec 이상 |
| Maximum Acceleration | 0.2G 이상 | 0.2G 이상 | 0.2G 이상 | 0.05G 이상 |
| Average Acceleration | 0.225G (Jerk 50%) | 0.225G (Jerk 50%) | 0.225G (Jerk 50%) | - |
| Linear Encoder & Scale | 저열팽창 유리 스케일 (Zerodur급 또는 동등 이상) Signal Period 20㎛ | 저열팽창 유리 스케일 (Zerodur급 또는 동등 이상) Signal Period 20㎛ | Steel Scale Signal Period 20㎛ | Absolute Steel Scale Signal Period 20㎛ |
| Resolution | 5nm/count 이하 | 5nm/count 이하 | 5nm/count 이하 | 5nm/count 이하 |
| Mean Position Accuracy | ±1㎛/F.T 이내 | ±1㎛/F.T 이내 | ±2㎛/F.T 이내 | ±2㎛/F.T 이내 |
| Bi-directional Repeatability | ±0.5㎛/F.T 이내 | ±0.5㎛/F.T 이내 | ±1㎛/F.T 이내 | ±1㎛/F.T 이내 |
| Flatness | ±3.5㎛/F.T 이내 | ±3.5㎛/F.T 이내 | ±5㎛/F.T 이내 | ±5㎛/F.T 이내 |
| Straightness | ||||
| Pitch | ±4arc-sec/F.T 이내 | ±4arc-sec/F.T 이내 | ±5arc-sec/F.T 이내 | ±5arc-sec/F.T 이내 |
| Yaw | ||||
| Velocity Ripple | ±0.3%/F.T 이내 (@300mm/sec) | ±0.3%/F.T 이내 (@300mm/sec) | N/A | N/A |
| In-position Stability | ±0.05㎛ 이내 | ±0.05㎛ 이내 | ||
| Orthogonality | ±3arc-sec 이내(AGX, CBY to AHX) | |||
| Settling Time | 500msec 이내 (@±300nm, F.T 이동 후) | 500msec 이내 (@±300nm, F.T 이동 후) | N/A | N/A |
| Dwell Time | 1sec | 1sec | 1sec | 1sec |
| Cable Chain | 클린룸 대응형 (동등 이상) | 클린룸 대응형 (동등 이상) | 클린룸 대응형 (동등 이상) | N/A |
1) 시스템 구성 : Bottom Frame(용접 구조) + Active Isolator + 석정반(Grantie) + Gantry(2축 동기) + Gantry Head(2축 개별) + Transfer (3축) 일체형 시스템 2) 갠트리(GY1, GY2)축 : 동기 구동, Coreless 리니어 모터, 에어베어링, 유효 스트로크 1,550mm 이상 3) 갠트리 헤드(HX1, HX2)축 : 개별구동, Coreless 리니어 모터, 에어베어링,휴효 스트로크 1,600mm 이상 가반하중 90Kg 이상(슬라이드당) 4) 트랜스퍼(CBY1, CBY2)축 : 개별구동, LM Guide, 유효 스트로크 1,800mm, 가반하중 800Kg 이상 5) 최대 속도 500mm/sec 이상, 최대 가송도 0.2G이상 (갠트리 및 트랜스퍼 주축 기준) 6) 위치 분해능 5nm/count 이하, 저열팽창 유리 스케일(Zerodur 급 또는 동등 이상) 적용 (갠트리부) 7) 위치 정확도 (Mean Position Accuracy) ±1㎛/F.T. 이내, 양방향 반복정밀도 ±0.5㎛/F.T. 이내 (갠트리부) 8) Pitch/Yaw ±4arc-sec/F.T 이내, 직각도(Orthogonality) ±3arc-sec 이내(갠트리부) 9) In-position Stability ±0.05㎛ 이내, Settling Time 500msec 이내(@±300nm, Full Travel 이동 후)
10) 갠트리Yaw 제어(Cross-Coupled Method) 및 진동 억제 알고리즘(VSA) 지원 모션 컨트롤러 적용 11) 온도 센서 내장형 리니어 모터 적용 12) 클린룸 대응 케이블 체인 및 클린 케이블(동등 이상 제품) 적용 13) 추후 수냉식 모터로 업그레이드 가능 5. 구성품 - Bottom Frame (용접 구조, Wedge Mount 포함) 1식 - Active Isolator 1식 - 석정반(Granite Stage) 1식 - Gantry Stage (AGY1, AGY2축) 1식 - Gantry Head Stage (AHX1~4축) 1식 - Transfer Stage (CBY1, CBY2, CBX1축) 1식 - 모션 컨트롤러 및 드라이버(Gantry Yaw 제어, VSA 지원) 1식 - 케이블 체인, 클린 케이블 및 배선1식 - 성능 측정 성적서(축별 정밀도 측정 데이터 포함) 1식 6. 납품 조건 - 설치·시운전 및 성능 검증 포함 - 하자보증1년 - 축별 정밀도(정확도, 반복정밀도, 진직도, Pitch/Yaw 등) 측정 성적서 제출 - CBY1~2 슬라이드 상부 가공품은 발주기관 사급 자재로 공급하며, 공급사가 조립 수행 - CBX1축의Coil, Magnet, Encoder, Scale은 발주기관과 협의된 사양의 부품을 적용할 것 7. 입찰 자격 - 초정밀 스테이지 제작사 또는 인증 대리점 - 동급(에어베어링 갠트리 스테이지) 제작·납품 실적 보유 권장 8. 제출 서류 - 제품 규격서(제안 사양서) - 제작 실적 증명 - 사업자등록증 - 가격 제안서 9. 가격 입찰 - 총액입찰 방식 - 최저가 적격심사 기준 10. 기타 사항 - 허위 사실 확인 시 낙찰 취소 가능 - 규격 미달 시 재납품 요청 가능 - 본 공고문 및 규격서의 해석은 발주기관이 최종 결정