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전자빔금속증착기 구매

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공고 개요

인하대학교 · 반도체·박막 공정장비

추정가격
9,035만원
개찰
06/04(목) 13:00 · 마감
낙찰방법
규격가격동시입찰
참가 자격
제한 없음
무슨 일
스테인리스강 재질의 공정 챔버 및 고진공 펌핑 시스템

요약 AI 요약

전자빔 증착 방식을 이용하여 박막을 입히는 전자빔금속증착기 1대를 구매하기 위함입니다.

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰
제출 방법
직찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시05/27(수)지남
개찰06/04(목) 13:00지남

가격

추정가격
90,354,545원
배정예산
99,390,000원
부가세
9,035,455원
예정가격 방식
단일예가

납품

품명
융복합진공증착기 (9923990305)
수량
1 대
인도조건
모름
제조물품
아니오
세부품명 등록
아니오

공고 정보

공고종류
등록공고 (일반공고)
게시일
05/27(수)
공고번호
R26BK01545102-000
참조번호
제2026-2025
공고기관
인하대학교
수요기관
인하대학교
계약방법
일반경쟁
낙찰방법
규격가격동시입찰
계약유형
총액계약
예정가격 방식
단일예가
추정가격
90,354,545원
배정예산
99,390,000원
사전규격번호
R26BD00230655
재공고
아니오
출처
나라장터

문서 발췌

과업·요구

물 품 규 격 사 양 서
품 명전자빔금속증착기수 량1대
입찰공고 규격업체 제시 규격
A. Features (일반적인 사항, 특징, 특색 등 기술)
E-Beam Evaporation System
1. Features ;
A. This System is an equipment for thin film
Deposition by E-Beam Evaporation.
B.Deposition Uniformity: ±2% in 6" Wafer
C. Ultimate Vacuum Pressure: Less than 5 x 10
B. Specifications (세부규격)
2. Specification ;
A.Process Chamber
a)Material: Stainless Steel(SUS 304)
b)Size: Ф350mm x 600mm(H), Inside
c)Type: Front Box Door
d)Pumping Ports
-.High Vacuum Port: DN200ISO-K
-.Foreline & Roughing port: NW25
-.View Ports(Ф80)
-.Gauge Ports(NW25)
-.Substrate Holder Port
-.Vent port(N2 Gas Purge)
-.E-Beam Source Port
-.Source Power Port
-.Source Cooling Port
-.Sweep Control Port
-.Shutter Port
-.Thickness Monitor sensor Port
-.Spare port
B.Pumping System;
a)High Vacuum Turbo Pump
-분석기 응용 : 2D Cultures
-시료온도 : 16-42도
-작동환경상대습도, 온도 : 20-70%, 4-30도
-전력요구사항 : 100-240VAC, 6A, 50/60Hz
-.Pumping Speed : >1,100ℓ/sec for N2
-.Size: DN200ISO-K
-.AC220V, 1Phase
b)Rotary Vane Vacuum Pump
-.Pumping Speed: 600ℓ/min
-.Inlet Flange: NW25
-.Direct drive
c)High Vacuum Gate Valve
-.Pneumatic(DN200ISO-K)
d)Roughing Valve(NW25)
-.Pneumatic
e)Foreline Valve(NW25)
-.Pneumatic
f)Vent Valve
-.Pheumatic, 1/4"
g)Vacuum Gauge
-.Ion, Pirani Gauge & Control
-.Pressure Range: 760∼1.0x10 torr
-.Display: Digital
C.Substrate unit
-.Size: 6" wafer holding
-.Material: SUS & Al
-.Rotation Speed: 0~30rpm
D.Wafer Heating Unit
-.Size: Φ160mm, SiC Heater
-.Max. Temp: 800℃, PID Control
E.Shutter Unit
-.Type: Pneumatic
-.Air Cylinder(90° Rotation)
F.E-Beam unit
a)E-Beam Source Unit(Telemark)
-.Number of Pocket: 4ea
-.Volum per Pocket: 7cc
-.External Rotary Type
b)E-Beam Power Supply(SJP)
-.Max. Output Power: 7Kv, 850mA
-.Input Voltage: 220V, 1Phase
-.Built-in filament controller
-.Filament transformer
c)Crucible position index unit
-.4 point index
-.Stepping motor & drive
-.Rotation Feedthrough
d)Sweep Controller
-.Pattern Type: Circle type
-.Dial frequency adjustment up to 50Hz
-.220V, Input
e)Feedthrough unit
-.Power Feedthrough, 2ea
-.Sweep control Feedthrough, 4pin
-.Water Cooling Feedthrough, 2point
G.Thin Film Thickness Controller
-.Model: Telemark, 861
-.9Film Material & Parameter Storage
-.Sensor Package
-.Vacuum Feedthrough(Sensor Cooling, Sensor C
H.System Controller
a)19" standard control Rack Size
b)PC & PLC Control
c)Vacuum, Power, Process Control
d)Safety Interlock & Emergency switch
I.Frame & Utility Ass'y
-.Al Profile be painted by ivory color
-.Air, Water Pressure switch
-.Main power: 220V, 30A, 3Phase
-.Water:2∼3kgf/㎠, 30ℓ/min
-.Air:5∼6kgf/㎠
C. Accessories (부속품)
D. Remarks (기타 사항)
E. Request (배송시 요청사항)

참가자격

업체명 : 대표자 : ㊞ 인하대학교 사무처장 귀하 === 입찰공고.pdf === 공고번호 제 2026 - 2025호 구 매 입 찰 공 고 1. 입찰에 부치는 사항 가. 품목 및 수량 : 전자빔금속증착기 1대 나. 규격 : 첨부 물품규격사양서 참고 2. 입찰방법 : 일반경쟁입찰 3. 입찰참가자격 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에 의한 경쟁입찰 참가자격을 갖춘 업체 나. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 제76조에 의한 입찰 참가 제한을 받지 않는 업체 4. 입찰설명회 : 없음 (필요 시 본교 구매자산팀에서 수시로 설명회 실시) 5. 입찰 등록 및 제출서류 가. 입찰방법 : 이비즈포유(https://www.ebiz4u.co.kr/) 전자 입찰 1) 입찰번호 : 제2026-2025 2) 공고명 : 전자빔금속증착기 구매 (조달요구번호 20260515010) 3) 입찰초청서번호 : R0001-20-20260527-00001 - 입찰 참가 서류 일체를 이비즈포유에 전자 등록하여야 함 - 이비즈포유 전자 입찰 시 입찰 수수료는 낙찰자가 부담 나. 입찰등록 마감 : 2026년 6월 4일(목) 12시 다. 입찰등록 제출서류 1) 사업자등록증사본(원본대조필 필수) ········································································································1부

7. 낙찰 결정 : 규격 적합한 업체로서 최저가격 제시업체 - 업체 선정 후 계약은 본교 구매자산팀(본관 101D호) 방문 진행 8. 입찰무효 : 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 제39조 제4항 및 동법 시행규칙 제44조에 해당하는 입찰은 무효로 함 9. 기타 가. 본 입찰과 관련된 서류의 인감은 입찰 등록 시 제출한 사용인감계의 도장과 일치하여야 함 나. 제출서류는 반환하지 않으며 선정 결과는 별도 공지하지 않음 다. 본 입찰과 관련하여 본교 별도 규정이 없는 경우는 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시 행령』의 관련 규정을 준용함 라. 대금지급, 검수 등 제반 행정사항은 본교 규정에 의함 - 방문납품, 검수부서 검수 후 수요처 납품, 전자세금계산서 발행, 후불지급 등 - 공급사의 사정으로 납기 지연 시, 1일 0.75/1,000 지체상금 기산 - 기타 이슈사항은 본교 규정 및 국가계약법에 의거하여 해석 조치함 마. (재공고 입찰의 경우에만 해당) 기존 응찰한 업체는 별도 변경 제출이 없을 시, 기존 응찰서류로 본 공고에 대한 응찰을 대체함 바. 입찰에 응하고자 하는 자는 입찰 참가 방법을 숙지하여야 하며, 기타 자세한 내용은 본교 홈페이지 (www.inha.ac.kr) 입찰란 열람 및 구매자산팀(☎032-860-7116, homeostasis@inha.ac.kr)으로 문의 바람 첨부 : 입찰서, 물품규격사양서, 청렴계약이행서약서 각 1부. 끝. 2026년 5월 27일 인하대학교 사무처장 === 입찰서.hwp ===

과업·요구

입 찰 서
입 찰 번 호공고 제 2026-2025호입 찰 일 자2026년 6월 4일
응 찰 품 명전자빔금속증착기 1대
입 찰 금 액내자金 원 整(VAT포함) ￦
외자(F․O․B) + ￦
H.S. Code No.감 면 여 부Weight
(B/L상의 무게)
관 세부가가치세
관 세 율면세 / 감면 / 감면불가감면 / 감면불가Kg ( Lb)
( %)
위험물 지정 품목 사유Tilt & Shock Watch / Dangerous Goods / etc.
납 품( 선 적 )일계약일로부터 일 이내
※ 회색부분은 외자 입찰자만 기재.
본인(본사)은 귀교의 물품구매(공사․기술용역)입찰유의서에 따라 응찰하여, 이 입찰이 귀교에 의하여 수락되면 물품구매(공사․기술용역) 계약일반조건․동 특수조건․물품규격사양서 및 현장설명사항에 따라 위의 입찰금액으로 납품(준공․용역수행)기한 내에 물품(공사․용역)을 납품(완성․제조)할 것을 확약하며 입찰서를 제출합니다.
2025년 6월 4일
󰠆󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠈
󰠐입 찰 자󰠐
󰠌󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠏󰠎
상호 또는 명칭 : 전 화 번 호 :
주 소 : 담 당 자 :
대 표 자 성 명 : 󰄫 담당자 연락처 :
주민(법인)등록번호 :
인 하 대 사 무 처 장 귀 하