극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버

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• 공고문(R26BK01539092-000).hwp · 공고규격서
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• 물품규격서_극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버.pdf · 공고규격서
• 제안요청서(평가표포함)_극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버.hwp · 공고규격서

공고 개요

경상국립대학교 산학협력단 · 전기·전자·RF 계측

낙찰업체

주식회사 위더스

낙찰금액

72,000,000원 · 낙찰률 98.21%

낙찰하한율

- · 기초금액 7,370만원

참가

2곳 · 개찰 06/02(화)

계약

요약 AI 요약

저차원 소자의 전기적 특성과 온도 간의 상관관계를 분석하기 위해 극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버를 구축하는 사업입니다.

• 극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버 1대
• 진공 챔버 및 액화질소 용기 일체형 수송관 시스템
• 정밀 온도 조절기 및 PT-100 온도 센서
• 고진공용 마이크로 포지셔너(4개) 및 디지털 현미경
• 하드웨어 제어 및 데이터 처리 운용 소프트웨어
• 다채널 어레이 매트릭스 제어 소프트웨어

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 상기심사에 의하여 적격입찰자(총점 85점이상)를 선정한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

67,000,000원

배정예산

73,700,000원

기초금액

73,700,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

6,700,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

반도체검사기 (4111370601)

수량

1 SET

납품

계약 후 60일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

05/22(금)

공고번호

R26BK01539092-000

참조번호

산학연구과-4775

공고기관

경상국립대학교 산학협력단

수요기관

경상국립대학교 산학협력단

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

67,000,000원

배정예산

73,700,000원

사전규격번호

R26BD00228151

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

- 목 차 - 1. 일반 1 1.1 적용범위 1 1.2 적용일반 1 2. 공급범위 1 2.1 공급장소 1 2.2 공급수량 1 2.3 공급내역 1 3. 입찰참가자격 1 4. 입찰자 준수사항 2 4.1 입찰시 제출서류 2 4.2 입찰서 작성 및 평가 2 5. 계약자 준수사항 2 5.1 계약내용 및 이의의 해석 2 5.2 계약자의 책무 3 5.3 포장 및 운반 3 5.4 장비의 가동조건 3 5.5 설치 3 5.6 안전대책 및 책임 3 5.7 산업재산권의 보호 3 5.8 교육훈련(기술지도) 4 5.9 허가 및 구속 4 5.10 시운전 4 5.11 보증 4 5.12 운용지원(AFTER SERVICE) 4 제 1 장 일 반 사 양 서 1. 일 반 1.1 적용 범위 본 사양서는‘극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버’구입과 관련하여 경상국립대학교 산학협력단과 계약자간 구매, 설치 시 지원 사항에 있어 이행되어야 하는 세부사항을 규정한다. 1.2 적용 일반 기술 사양은 장비의 성능 및 제안의 기준을 반드시 준수하여야 하며, 명기되지 않은 사항에 대해서도 계약자는 최신기술을 도입하고 양질의 자재를 사용하여 구조적으로 안전하며 운용 및 정비가 용이하고 최고의 성능이 보장되어야 하며, 교육적인 지원이 완벽히 이루어져야 한다. 2. 공급 범위 2.1 공급 장소: 경상국립대학교 가좌캠퍼스 402동 209호, 생체모방반도체실험실(경남 진주시 진주대로 501) 2.2 공급 수량: 극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버 1대 2.3 공급 내역

참가자격

가. 품명: 극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버 및 구성품 나. 장비의 구성(규격): 물품규격서 참고 다. 납품기한: 계약일로부터 60일 이내 3. 입찰참가자격 가.「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 반도체검사기(4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰 참가 등록한 자 나. 「중소기업기본법」제2조제2항에 따른 소기업 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」제2조에 따른 소상공인으로서「소기업·소상공인 및 장애인기업 확인요령」에 따라 발급된 소기업·소상공인확인서를 소지한 자 4. 입찰자 준수사항 4.1 입찰시 제출서류(규격, 가격동시입찰) 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 구매자 요구사항을 충분히 수용할 수 있어야 하고, 입찰시 입찰자는 경상국립대학교 산학협력단에서 기술평가를 할 수 있도록 다음 서류 및 자료를 입찰공고서에 따라 온라인으로 제출하여야 한다. 만약 기술 제안서가 임의적이거나 다르게 제출되었다면 평가에서 제외될 수 있다. 가. 정량평가 자료(신용평가등급확인서) 나. 정성평가 자료(기술제안서 및 기술제안서에 따른 세부 해설 자료) 다. 기타 참고자료(규격서에 따른 Catalogue 등) 4.2 입찰서 작성 및 평가 가. 입찰서 작성 (1) 입찰자는 입찰시 규격 입찰서와 가격입찰서를 구분하여 입찰서를 작성한다. (2) 기술제안서에는 제1장 일반사양에 규정한 입찰시 자료제출 내용과 물품규격서에서 규정한 모든 항목의 규격기준에 따라 제안하고자 하는 내용이 명확하고 상세하게 기술된 기술제안서를 작성 제출하여야 한다.

배점·평가

과업·요구

5. 공동수급체의 경우 구성원별 해당 점수에 지분율을 곱한 후 그 점수들을 합산하여 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다. (예) (A사 점수×A사 지분율)+(B사 점수×B사 지분율)… 6. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 중소기업협동조합의 신용평가등급으로 평가한다. === 물품규격서_극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버.pdf === [별지서식 1] 물 품 규 격 서 한 글 : 극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버 품 명 영 문 : Ultra Low Temperature-high temperature Environment Device Test Chamber 규 격 VPX-77KD 수량 및 단위 1set g2b물품분류번호 41113706 g2b물품식별번호 25427673 A. 특성 Features 본 장비는 저진동 펌핑 연결부를 통해 진동 잡음을 효과적으로 차폐하고 향후 옵션으로 외부에서 광원을 조사할 수 있는 챔버 시스템으로 저차원 소자에서 외부 광원과 온도에 따른 미세 특성 변 화 및 소자의 전기적 특성을 계측하여 분석하고자 하는 실험이 목적을 지닌다. 극저온에서 내구성 있는 PT-100 센서 및 저온 스테이지 설계, DC Input (12~24V/10A), Biopolar Output (0~21V/±10A) 제어 방식 적용으로 척 온도를 ±0.05 ℃ 이내로 정밀하게 제어하여 나노 소자의 전기적 특성과 온도와의 상관관계를 다년간 반복적 사용이 가능한 시스템이다. 안정적인 전기적 계 측 및 다양한 온도에서 활용될 수 있을 뿐더러, 진공 챔버와 액화질소용기 일체형 초미세 진공 액 화질소 수송관 설계를 통해 온도를 냉각 시킴으로써 극저온에서 ±0.05 ℃ 이내로 온도를 제어할 수 있고 80K 이하의 극저온에서 8 시간 이상의 온도를 유지할 수 있는 시스템으로 설계 되었다. 진공 챔버와 액화질소용기 일체형 초미세 진공 액화질소 수송관 시스템은 기존 액화질소 주입형 저온 시스템에서 문제가 되었던 온도 편차 문제를 해결하였다. 추후 광전특성 분석용까지 확장하여 저온 진공 소자측정분석시스템 통해 전문 인력을 양성하는데 필수 시스템으로 설계되었다.

1. 다파장 광원 디자인이 가능하며 컴퓨터에 의한 중앙 제어형의 분광광도계가 가능 2. 외부 온도 및 전기적 잡음 요인을 차폐하기 위해 저진동 저온 챔버 시스템. 3. 폭넓은 온도 범위에서 전기적 계측이 가능하므로 전하의 수송 특성을 측정 가능. 4. 연구목적, 교육 및 품질관리 수준의 장비로 제작 5. 자동화된 악세사리를 소프트웨어를 통해서 제어 가능. 6. MS-Windows&LabView 소프트웨어에 제어 가능 B. 사양 Specifications 1. 메인 프레임 1). LN2 injection cryogenic system for fluorescent illumination 동등 이상 (1) Main Frame for 77-KD System – Frame Size (mm) : 750(W) * 750(D) * 1600(H) - Vacuum Chamber Size : 220 (Dia.) * 200(H) - Vauum Level : 10-6 Torr - Temperature Range : 78K ~ 400K - Chuck Size : 40 mm - PID Contorl Vacuum Feedthrough : 12 pins - Vacuum chamber capable of mounting : 6 positioners - Below 80K Temperature holding time : more than 8 hours - Precise cryogenic temperature stability: ±0.5 ℃ - Sensor for precise temperature control: PT-100 (2) Micro-positioner for High Vacuum - Travel length (x, y, z) : 12 mm - Manipulator movement: high Cross-roller type - Male&female Manipulator adaptor : 0.3 mm pitch - Manipulator Resolution: 7um - Laser Wellded Bellows Type - Coaxial Hermatic Connector - Quantity: 4 EA (3) Digital Microscope - CCD Camera (C-Mount Adapter: 0.5X) - Zoom: 0.7 to 4.5X - Total Magnification: upto 130X - 13" Monitor (4) Precision Temperature Modulator - DC Input: 12~24 V/10 A - Bipolar Output: 0~21 V/ ±10A - Top Side Temperature Sensor: PT-100 - Temperature Probe: Pt100, Pt1000, NTC, VIN, K-type - Temperature Precision: < 0.05 ℃ - High Speed Temperature Modulation Software

- Communication: RS485, USB (5) Probe Tip - Type : Bending Type - Material : Tungsten - Size : 0.5 x 30mm - Quantity : 10 EA (6) Low Noise cable - ConnectionType : TRX to BNC - Impedance : 50 Ohm - Insulation : Solid PE(polyethyline) - Cable Length : 3 M - Quantity: 4 EA 2). LN2 Dewar for liquid nitrogen injection Module - Liquid Nitrogen Storage : 3 liter - LN2 Dewar Height (mm) : 350 - LN2 Dewar Diameter (mm) : 200 - LN2 Dewar Weight (kg) : 6 (1) Continuous flow flexible liquid nitrogen transfer module - 1/16" diameter cryostat O.D. inner LN2 line - Continuous Flow control valve - Diapharmph Pump for LN2 Gas line - LN2 Dewar Adaptor (Relief Valve) - LN2 level sensor module - LN2 low level and high level indicator sensor 3). High Vacuum Pumping Station (1) HiCube 80, ECO pumping station - HiPace 80, Turbo Pump (DN40ISO-KF) - MVP 015-2, Diaphragm vacuum pump - TPS 110, Power supply - DCU 002, Display control unit (2) Full Range Vacuum Gauge - Ionization : 1.0X10-9 ~ 780 Torr -Convection : 1.0X10-4 ~ 780 Torr -Unit Display : Torr,mbar,pa - Input Power : 15~30 VDC - Fitting Flange : NW25KF 4). Multi channel array matrix control Software..1 copy - Dual Channel SMU & Switching Matrix Card Control and DAQ - FET, Diode, Sensor Device array Test Sequence - Pulse Train Sequence algorithm included - Graph Plot and Data Save function C. 구성 Composition

D. 부대용품 Accessorry E. 기타 Remarks 1). 무상 A/S기간 : 설치 후 1년. 2). 납기 : 발주 후 60일 이내 3). 검수 사항 - 장비 입고 전 시운전 정밀 온도 측정 데이터를 제출해야 한다. - 장비 입고 후 시운전 온도 데이터와 동일한 특성이 나오는지 확인해야 한다. - 장비 설치, 검사 및 시운전은 납품처에서 책임진다. 4). 본 규격서에 명시한 동등 또는 동등 이상 사양의 물품을 공급하여야 하며 장비의 동등 이상 규 격을 계약자 당사자가 입증하여야 한다. 5). 본 사양에 명시되지 않은 사양 및 부속품은 수요기관에서 제공하는 장비목록에 기재된 표준사 양 및 표준 부속품을 공급한다. 6). 납품업체는 납품기일 내에 해당기관의 실습장에 본 장비를 설치 완료하여야 하고 검수는 수요 기관 지정장소에서 실시하며, 운반 및 설치, 시운전, 검수에 필요한 모든 경비는 납품업체에서 부 담하며 교육은 2회 이상 실시하여야 한다. 7). 원활한 사후 관리를 위해 국내 제조사의 정품 및 AS 관계를 확인할 수 있는 서류를 제출하여 야 한다. 8). 납품된 물품에 대한 무상 하자보증 및 사후 관리 기간은 1년으로 하며 하자보증 기간 동안 모 든 기술 출장료와 하드웨어 부품은 무상으로 지원한다. 서비스 접수의 초기대응은 48시간 내 이뤄 져야 한다. 9). 국내 대리점 계약서 혹은 공급확약서를 제출하여야 한다 l 반드시 동등이상의 사양으로 납품이 가능함 (해당 문구는 삭제하지말 것) 소속 : 나노신소재융합공학과 직급 : 부교수 요구자 성명 : 박준홍 (인) 연구책임자 성명: 박준홍 (인) === 공고문(R26BK01539092-000).hwp === 우편번호 : 52725 주소 : 경상남도 진주시 동진로 33, 경상국립대학교 산학협력단 조달 물자(물품) 구매입찰 공고 ㆍ입찰공고번호 : R26BK01539092-000 ㆍ공 고 명 : 극저온-고온 환경 디바이스 테스트 프로빙 챔버 ㆍ수 요 기 관 : 경상국립대학교 산학협력단 이 입찰 설명서는 경상국립대학교산학협력단이 집행하는 입찰에서 입찰자와 낙찰자가 숙지하고 준수하여야 할 사항을 기재한 것으로써 모든 입찰 희망자는 이를 열람하여야 합니다. 이 입찰과 관련하여 추가로 문의할 사항이 있으시면 아래 담당자에게 연락하시기 바랍니다. ○ 입찰 참가 자격 등록, 나라장터 시스템 : 정부조달 콜센터(☎ 1588-0800) ○ 입찰공고, 개찰, 계약방법 등 : 경상국립대학교 산학협력단 조수연 (☎ 055-772-2493) ○ 제안요청서 평가, 물품 규격 등 : 나노신소재융합공학과 박준홍 교수 (☎ 055-772-1684) 이 입찰에 참가하는 자는 다음의 입찰 설명서를 구성하는 공고서 및 각종 규정, 규격서 등을 반드시 열람하고 숙지하여야 하며, 숙지하지 못함에 따라 발생하는 모든 책임은 입찰자에게 있음을 알려드립니다. 규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불이행하는 경우 관계법령에 의거 부정당업자로 제재되어 일정기간 입찰참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있습니다.

참가자격

3. 입찰참가자격 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ◐ 다음 각 호의 자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다. ①「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 입찰서 제출마감일 전일까지 세부품명번호 4111370601(반도체검사기)물품을 공급 또는 제조로 입찰참가 등록한 자 ②「중소기업기본법」제2조제2항에 따른 소기업 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」제2조에 따른 소상공인으로서「소기업·소상공인 및 장애인기업 확인요령」에 따라 발급된 소기업․소상공인확인서를 소지한 자 * ‘소기업․소상공인 확인서’는 전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함 상기 ‘소기업·소상공인확인서’가 중소기업제품 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인이 안 될 경우 입찰 참가자격이 없습니다. ○ 다만 소기업·소상공인확인서를 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 신청한 업체는 입찰참가가 가능하나 다음의 어느 하나에 해당하는 경우에는 참가자격이 없습니다. - 개찰 후 5일 이내 까지 소기업·소상공인확인서가 발급 및 확인 되지 않은 경우 - 발급된 소기업·소상공인확인서가 입찰참가자격의 기업구분과 다른 경우 - 발급된 소기업·소상공인확인서의 유효기간 시작일이 전자입찰서 제출 마감일 이후인 경우 - 전자입찰서 제출 마감일 이후 소기업·소상공인확인서를 신청한 경우