펄스레이저 증착장비_PA202600690

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첨부파일

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• 01_입찰공고문(펄스레이저증착장비_PA202600690).hwp.hwp · 공고규격서
• 01_입찰공고문(펄스레이저증착장비_PA202600690).hwp.pdf · 공고규격서
• 02_규격입찰 설명서.hwp · 공고규격서
• 03_PA202600690_구매규격서.pdf · 공고규격서

공고 개요

유찰 · 서울대학교산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

결과

유찰

참가

0곳 · 개찰 05/26(화)

요약 AI 요약

펄스레이저를 이용해 기판에 박막을 증착하고 고품질 박막을 구현하기 위한 펄스레이저 증착장비를 구매하고자 합니다.

• 진공 챔버 유닛(Vacuum Chamber Unit)
• 진공 펌핑 및 자동 압력 제어 모듈
• 기판 가열 모듈(Substrate heating module)
• 타겟 회전-공전 모듈(Target rotation-revolution module)
• 공정 가스 공급 모듈(Process gas supply module)
• 시스템 제어 모듈(System control module)

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가점수는 평가점수 평균 85점 이상인 자를 규격입찰 적합자로 하며, 85점 미만인 경우에는 부적합에 해당하며, 가격개찰대상에서 제외한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

기초금액

99,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

9,000,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 SET

납품

계약 후 150일

인도조건

설치까지 · 현장설치도(RFID태그부착)

제조물품

아니오

세부품명 등록

아니오

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

05/18(월)

공고번호

R26BK01528624-000

참조번호

PA202600690

공고기관

서울대학교산학협력단

수요기관

서울대학교산학협력단

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

사전규격번호

R26BD00225377

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

참가자격

❍ 나라장터에서 출력한 조달청 경쟁입찰참가등록증 1부. - 입찰참가자격은 반드시 입찰집행일 전일까지 등록 및 갱신하여야 하며 기간 내 등록 및 갱신하지 않아 발생하는 불이익은 입찰자의 책임입니다. ❍ 법인등기부등본(개인 사업자의 경우 사업자등록증) 1부. ※ 국가계약법시행규칙 제44조 제6의3 입찰무효 사항인 ‘상호 또는 법인의 명칭’ 및 ‘대표자(대표자가 여럿인 경우에는 대표자 전원)의 성명’ 확인용 ❍ 규격입찰서 1부 ※ [서식 1] 서식 활용(업체 직인날인 필) - 주요 내용 : 납품 항목, 제품 성능 및 규격, 납기 일정 등 추진계획 전반, 관련 기술 보유 현황(증빙자료 별첨), 납품실적(증빙서류 별첨) 등을 규격입찰서 평가항목에 부합하게 작성(자율 서식) ❍ 규격서1부 ※ [서식 2] 서식 활용(투찰업체가 제시할 물품의 규격을 작성) ※ 물품분류번호(조달청분류번호) 및 물품식별번호(업체등록번호) 기재(조달청 등록 요망, 계약체결 시에는 필수임) ❍ 개인정보 이용동의서 1부 ※ [서식 4] ❍ 업체 일반현황 및 주요연혁 ❍ 카달로그, 브로슈어, 도면 등 기타 규격을 명확히 확인할 수 있다고 판단하는 자료 일체 ❍ 입찰 물품 관련 기술지원계획, 기술보유상황, 하자보증 및 사후관리 계획 등 제출(자율서식)

배점·평가

과업·요구

=== 03_PA202600690_구매규격서.pdf === 펄스레이저 증착장비 Ⅰ. 용도(End-user's Use) 본 장비는 발진 된 레이저로 타겟을 맞췄을 때 생기는 플라즈마 플룸(plasma plume)을 이용하여 기판에 원하는 박막을 증착하는데 사용되는 장비이다. 이 장비 시스템은 1) 펄스 레이저 증착을 이용하여 3차원 구조의 물질 이 종구조를 합성한 뒤, 토포택틱 환원 공정을 통해 특정 위치의 산소를 물질에서 떼어내어 목표한 2차원 사각 평 면 격자(무한적층 구조)를 구현이 가능하다. 또한 2) 펄스 레이저 증착과 forming gas를 이용한 토포택틱 환원 공정을 한 챔버 내(in-situ)에서 실행할 수 있어 챔버 밖 후처리 공정을 활용하는 것보다 표면이 깨끗한 고품질 박막을 만들 수 있어 표면에 민감한 측정을 이용한 연구를 가능케 한다. Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods) 1) Vacuum Chamber Unit 1 set 2) Vacuum pumping and pressure control module : 1 set 3) Substrate heating module 1 set 4) Target rotation-revolution module : 1 set 5) Process gas supply module : 1 set 6) System control module : 1set 7) Accessory : Eximer laser optic guide cover with Frame Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specificpation)

1) Vacuum Chamber Unit 1 set ① Chamber Door . Material : SUS304L . Up-down pneumatic cylinder . Door safety lock device ② Chamber Body . Material : SUS304L . Shape : 원통형 . Viewport door with shutter (> I.D 6 inch) : 1ea . Ports : Substrate, vacuum pumping, gauge, vent, target , shutter etc. . Customized ports : pyrometer, laser intensity,laser window . TMP by-pass cross nipple adaptor . Internal shield cover ③ 성능 . ROR leak rate : < 1 x 10E-6 torr/min . Ultimate pressure : < 2 x 10E-8 torr @ within 10 hour 2) Vacuum pumping and auto pressure control module ① Turbo pump & controller : 1 set . Ultimate pressure : < 9 x 10E-10 torr . Interface : RS-232C, RS-485C, Profibus ② Turbo backing vacuum pump : 1 ea . Ultimate pressure : < 0.5 Pa . Interface : RS-232C, RS-485C

③ Gate valve, roughing, foreline valve : Pneumatic ④ Vacuum gauge control parts, foreline gauge 필수 . Reading range : 1,000 torr ~ 1 x 10E-10 torr ⑤ Auto pressure control module . TMP by pass, control range : 1mTorr ~ 1 Torr by CDG with T/V 3) Substrate heating module ① Substrate stage, 2 inch, Inconel . Heating : Max. 850℃ @ surface temp. ② Heating element : Halogen lamp . Gold coated water cooling ramp housing ③ Temp. sensor : K-type thermocouple ④ DC power supply with PID programmable temp. controller ⑤ Shutter, pneumatic, rotary motion feedthru ⑥ Pyrometer, focus : 2.5mm @ 500mm, Inferface module, software & 설치브라켓 4) Target rotation-revolution module ① Target source : 1 inch x 4 ea ② Target rotation module

③ Target revolution module, Trigger mode, target position mode by servo motor . Trigger 속도, 각도 프로그램 5) Process gas supply module ① Mass flow controller : Ar, O2 ② MFC readout and power supply ③ Gas valve, bellows type, 1/4" VCR, pneumatic : 3 ea ④ Bakeable variable leak valve : 1 ea . Controlled leak rate : 10E-10 torr/s (min.) ⑤ Gas valve, diaphram, 1/4", manual front leak valve : 1 ea ⑥ Gas line, 1/4" SUS tube, VCR fitting ⑦ Chamber vent valve, solenoid, 1/4" lok 6) System control module ① Chamber housing frame . Material : SS41 . Frame door, Caster and foot ② Caninet rack . Standard 19 inch, caster and foot ③ System controller . 10inch LCD touch monitor with HMI software embedded program control . Customer parameter setting : Target position, vacuum etc. . PLC module, high speed, noise isolation . Emergency stop push button switch

④ Electric apparatus panel ⑤ Cooling water distribution device ⑥ Compress air distribution module . Solenoid valves, regulator Ⅳ. 기타 조건(Remarks) 1. 납품기한 : 계약 후 50일 이내 (납품희망일로 상황에 따라 협의 가능) 2. 규격담당자 : 이성원/공과대학/재료공학부/010-3931-8599 3. 납품장소 : 서울대 관악캠퍼스 30동 304호 산화물양자소재연구실 4. 하자보증기간: 납품 및 성능 테스트 후 1년 보증 서비스를 제공 5. 기타 * 매뉴얼 제공 * 설치 및 운영 교육과 사후서비스는 고객이 지정한 장소에서 계약자에 의해 제공되어야 한다. * 공정자료 요구시 도면과 검증된 시편을 제출하여야 하며 필요시 관련 장비를 현장에서 검사 및 공정검증을 요 구할 수 있다. * 전문 엔지니어에 의해 지정된 장소로 설치 및 공급되어야 한다. === 01_입찰공고문(펄스레이저증착장비_PA202600690).hwp.hwp === 서울대학교 산학협력단 공고 / 기관관리번호: PA202600690 연구물품 구매(제조) 입찰 공고 (국내입찰 / 규격가격동시) 이 입찰에 참가하는 자는 다음의 공고서 및 각종 규정, 규격서 등을 반드시 열람하고 숙지하여야 하며, 숙지하지 못함에 따라 발생하는 모든 책임은 입찰자에게 있음을 알려드립니다. 규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불이행하는 경우 관계법령에 의거 부정당업자로 제재되어 일정기간 입찰참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있습니다. - 다 음 -

* 기타 세부사항(상세수량 및 규격 등)은 수요기관 요청문서에 의하며 전자입찰공고 시 첨부된 규격서, 규격입찰설명서 등을 반드시 확인하시기 바랍니다. 다. 납품(설치)기한 : 계약 후 150일 이내 라. 사업예산(기초금액) : 99,000,000 원(부가가치세 포함) 마. 입찰방법 : 제한경쟁(총액)입찰 / 규격가격동시 입찰 2. 입찰(개찰) 일시 및 장소 ———————————————————————————————— 가. 입찰방식 : 전자입찰(국내) 나. 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터), 입찰집행관 PC 다. 전자(가격)입찰 제출기한 : 2026년 5월 18일(월) 19:00 ∼ 2026년 5월 26일(화) 10:00 라. 규격입찰서 제출마감일시(이메일 제출) :　2026년 5월 26일(화) 10:00 마. 개찰일시 : 규격입찰 검토 완료 이후, 입찰담당관 PC ※ 개찰은 규격입찰 검토 완료 후 진행합니다. ※ 전산장애가 생길 경우에는 다소 지연될 수 있습니다.

참가자격

3. 입찰참가자격 ———————————————————————————————— 가. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시 제2003-1호. 2003.04.07) 경쟁입찰참가자격등록증 소지자로서 우리 대학에서 제시한 규격과 사양에 따라 납품이 가능한 업체 나. 납품기한 내에 물품 납품이 가능한 자(납품 지연 시 지체상금 부과 또는 계약해지) ※ 본 물품은 연구비 재원으로 구매하는 건으로 납품기한 내에 물품이 납품되지 않을 시 물품대금 지급이 불가하니, 반드시 납품기한 내 납품 가능한 업체만 입찰 참여해주시기 바랍니다. 다. 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」 제9조에 따른 직접생산여부를 확인할 수 있는 증명서류(직접생산확인증명서) 및 정품 공급증명서를 제출할 수 있는 자 ※ 아래에 해당하는 경우에는 위 입찰참가자격을 모두 갖춘 경우에도 동 입찰에 참여할 수 없습니다. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자 * 입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰시 제출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제․해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음) 3-1. 규격입찰 제출서류 ———————————————————————————————— 입찰에 참여한 업체는 ‘국가종합전자조달시스템’ 또는 ‘중소기업제품 공공구매 종합정보망’ 에 입찰 참가 자격 관련 자료가 확인되어야 합니다. 관련 자료가 확인되지 않을 경우 입찰참가자격이 없으므로, 입찰마감 전일 이전에 입찰참가자격 등록 및 갱신하여야 하며, 기간 내 등록 및 갱신하지 않아 발생하는 불이익은 입찰자의 책임입니다. 본 기관은 개찰 전 규격을 확인할 수 있는 자료를 제출 한 자에 한하여 규격검토를 실시하며, 해당 자료를 제출하지 않은 자는 ‘필수제출서류 미제출’ 사유로 부적격 처리하여 가격을 개찰하지 않으니, 입찰에 참여하고자 하는 업체는 아래의 필수 제출서류를 반드시 숙지하여 제출기한 내에 이메일로 제출하시기 바랍니다.

가. 규격입찰서 제출기한 : 전자가격입찰서 제출기한과 동일 나. 제출방법 : 담당자 이메일(유진영, yujc1210@snu.ac.kr)로 제출기한 내에 제출 * 이메일 발송 후 정상수신(반송, 스팸메일 등의 사유)을 위해 접수담당자에게 확인해주시기 바랍니다. (메일제목 : 공고명 / 업체명 기입) * 정해진 시간 이후에 도착한 건에 대해서는 접수하지 않습니다. * 전산 상 오류로 이메일 제출이 불가하거나 확인되지 않을 경우, 반드시 담당자에게 사전 연락하시어 별도의 제출방법을 안내받으시기 바랍니다. * 제출서류 제출 시에는 제출기한까지 담당자 이메일에 도달하여 접수된 것에 한하여 유효하며, 제출 중 지연제출, 오제출, 제출자료 누락, 전산오류 등에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다. * 입찰 시 제출되는 서류가 사본인 경우에는 반드시 ‘사실과 상위 없음’을 확인․날인하여 제출하시기 바랍니다. * 한번 제출한 입찰서는 수정할 수 없으므로, 신중히 작성해주시기 바랍니다. 다. 규격입찰접수처 : 서울대학교 산학협력단 연구지원부 유진영 (☎ 02-880-2048, yujc1210@snu.ac.kr) 라. 제출서류 : (입찰참가자격 관련 서류는 입찰공고일 이후 출력 후 제출) ※ 첨부된 규격입찰 설명서를 참고하시고, 제출한 서류로 세부 규격 확인이 어려울 경우 추가 자료 제출을 요구할 수 있습니다. ① 나라장터에서 출력한 조달청 경쟁입찰참가등록증 1부. - 입찰참가자격은 반드시 입찰집행일 전일까지 등록 및 갱신하여야 하며 기간 내 등록 및 갱신하지 않아 발생하는 불이익은 입찰자의 책임입니다.

② 법인등기부등본[발행일자부로 3개월 이내 유효〕(개인사업자의 경우 사업자등록증) 1부. - 국가계약법시행규칙 제44조 제6의3 입찰무효 사항인 ‘상호 또는 법인의 명칭’ 및 ‘대표자(대표자가 여럿인 경우에는 대표자 전원)의 성명’ 확인용 ③ 규격입찰서 1부 ※ [서식 1] 서식 활용(업체 직인날인 필) ④ 규격서 1부 ※ [서식 2] 서식 활용(투찰업체가 제시할 물품의 규격을 작성) ⑤ 업체 일반현황 및 주요연혁 ⑥ 카달로그, 브로슈어 등 기타 세부 규격을 확인할 수 있는 자료 일체 ⑦ 별첨자료 1부: 규격입찰서 평가항목에 부합하게 사실대로 작성(자율서식) - 내용: 입찰 물품 관련 납기 일정 등 추진계획 전반, 관련 기술지원계획 및 기술보유상황(증빙별첨), 납품 계획, 하자보증 및 사후관리 계획(A/S지원계획) 등 제출(자율서식) ⑧ 개인정보 이용 동의서 [서식 4] 3-2. 입찰참가자격등록 ———————————————————————————————— 조달청의 경쟁 입찰 참가자격등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위하여 입찰참가자격등록 마감일까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터(G2B) 이용안내는 정부조달콜센터(☎ 1588-0800, FAX: 042-472-2297)로 문의하시기 바랍니다. 3-3. 입찰방법 ———————————————————————————————— 가. 본 입찰은 전자입찰로서 국가종합전자조달시스템(http://www.g2b.go.kr/)을 통한 전자입찰만 허용 됩니다