입찰공고상세[물품] · 마감 · AI 페이지
울산과학기술원 고온고진공열처리로 구매
이 페이지는 공공일감(work.00data.kr)이 입찰공고 「울산과학기술원 고온고진공열처리로 구매」을 AI가 읽기 좋게 한 장으로 정리한 글이다.
공고명 · 금액 · 일정은 공공데이터포털 · 조달청 입찰공고 정보 그대로이고, 요약 · 문서 분석 · 발췌는 공공일감이 공고문과 첨부를 읽고 만든 것이다.
이 가공물은 인용할 수 있으며, 인용할 때는 공공일감과 공고 페이지 링크(https://work.00data.kr/projects/R26BK01442463)를 출처로 밝히는 조건이다. 베타 기간 무료.
2026-10-13 16:36 KST 기준 · 최종 확인은 나라장터 원문을 따른다.
공고 정보: 공공데이터포털 · 조달청 입찰공고 정보 · 요약 · 분석: 공공일감이 공고문과 첨부를 읽고 정리
링크
비슷한 공고
링크는 각 공고의 AI 페이지다.
진행 중
- 고온 환원 열처리 시스템 · 한국재료연구원 · 4.96억원 · D-6
- 급속열처리기 구매 · 한국과학기술연구원 · 4,150만원 · D-8
- 화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비 · 울산과학기술원 · 8,636만원 · D-6
- 반도체 공정 폐가스 처리용 가스 스크러버 1종 1점 구매 · 충남대학교 산학협력단 · 2,718만원 · D-3
- 환원 소결로 제작 구입 · 승림전기(주) · 배정예산 9,700만원 · D-6
- 울산과학기술원 플라즈마강화원자층증착설비 · 울산과학기술원 · 2.7억원 · D-2
끝난 공고 · 결과
- 울산과학기술원 고온고진공열처리로 구매 · 울산과학기술원 · 낙찰 주식회사 워너이엔지 · 2.75억원
- 울산과학기술원 초고진공스퍼터링시스템 구매 · 울산과학기술원 · 유찰
- 열화학기상증착기 구매 · 충북대학교산학협력단 · 유찰
- 고진공텅스텐로 · 한국생산기술연구원 · 낙찰 주식회사 에스더블유베큠 · 4.33억원
- 고온 환원 열처리 시스템 · 한국재료연구원 · 유찰
- 급속열처리장비_PA202601262 · 서울대학교산학협력단 · 유찰
첨부파일
뷰어 링크는 사람이 원문을 볼 때 쓰는 화면이다. 이 문서들에서 뽑은 자격 · 배점 · 일정 · 발췌는 이 페이지 아래에 글로 있다.
- 공고서_R26BK01442463(국가,일반,규가).hwpx · 공고규격서
- 공고서_R26BK01442463(국가,일반,규가).pdf · 공고규격서
- 사양서 등.zip · 공고규격서
공고 개요
유찰 · 울산과학기술원 · 공작·가공·용접 기계
- 결과
- 유찰
- 참가
- 2곳 · 개찰 04/28(화)
요약 AI 요약
울산과학기술원이 반도체·양자소자 공정 연구에 쓸 고온고진공열처리로 1대를 구매하는 사업이다. 1800℃ 이상(최대 2000℃) 고온과 고진공 환경에서 정밀 열처리(어닐링)가 가능한 연구용 장비를 설치·시운전까지 공급하는 것이다.
- 챔버 및 가열부 유닛: 고온·고진공용 흑연(또는 동등 이상) 챔버, 고온용 히터, 흑연 기반 SiC 코팅 공정 튜브, 흑연 펠트 단열재, 지지 프레임
- 가스 시스템 유닛: N₂·He·Ar 등 불활성 가스 사용, MFC 기반 자동 제어, 가스 밸브·레귤레이터·매니폴드 및 배관
- 진공 및 펌핑 유닛: Dry Pump + Turbo Pump, 도달 진공도 1×10⁻⁶ mbar 이하, 진공 게이지(Baratron·Pirani), 진공 밸브·배관
- 이송·구동(스테이지) 유닛: 시편 로딩·이송 메커니즘, Ball Screw·LM Guide, 서보 모터, 스테이지 및 지지 구조물
- 제어 및 전장 시스템 유닛: PLC 기반 제어, HMI/산업용 터치 패널 PC, PID 온도 제어, 광학식 파이로미터·열전대, 공정 데이터 이력 관리
- 인건비 및 설치비: 장비 기계·전기 설계, 조립·자체 시운전, 현장 반입·설치, 전기 배선·유틸리티 훅업, 성능 검증 및 사용자 교육
평가 · 배점
협상 대상 기준 · 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.
| 평가 항목 | 배점 |
|---|---|
| 업체 현황(제안 개요 및 제안사 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황) | 10점 |
| 기업신용도(신용평가등급) | 10점 |
| 공고 규격의 적합성 | 30점 |
| 설비능력 | 30점 |
| 사후 관리(장비 유지보수 및 A/S 체계, 전담 인력 운영 계획, 소모품·부품 수급 안정성, 하자보증 기간 및 범위) | 10점 |
| 추진 계획/교육 훈련(납품·설치 일정 적정성, 시운전·성능 검증 계획, 장비 운용·유지보수·교육 계획, 기타 제안 사항) | 10점 |
| 합계(항목을 더한 값) | 100점 |
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 04/06(월) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 04/24(금) 10:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 04/27(월) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 04/28(화) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 04/28(화) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 272,500,000원
- 배정예산
- 302,338,100원
- 기초금액
- 283,160,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 부가세
- 27,250,000원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 전기로 (2316159601)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 180일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 등록 필요
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 04/06(월)
- 공고번호
- R26BK01442463-000
- 참조번호
- -
- 공고기관
- 조달청 부산지방조달청
- 수요기관
- 울산과학기술원
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 272,500,000원
- 배정예산
- 302,338,100원
- 사전규격번호
- R26BD00204077
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
과업·요구
| 총합계금액(합계금액+부가세) : | 일금 영원정 | ( | 299,750,000 | ) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 단위:원(\) | |||||||||||
| NO. | 품목 및 규격 | P/N | 단위 | 수량 | 단가 | 합계금액 | 재고 유무 | ||||
| 1 | . | 챔버 및 가열부 유닛 | 1 | ||||||||
| -챔버 재질 : 고온·고진공용 Graphite 또는 동등 이상 재질 -챔버 내부 구조 : 고온 열처리 공정에 적합한 수직형 구조 -가열 시스템 : 고온용 히터 및 히터 베이스 포함 -공정 튜브 : Graphite 기반 SiC 코팅 Process Tube 또는 동등 이상 -단열 구조 : Graphite Felt 단열재 적용 -프레임 구성 : 챔버 및 시스템 지지 프레임 일체 | |||||||||||
| 2 | 가스 시스템 유닛 | ||||||||||
| -공정 가스 : N₂, He, Ar 등 불활성 가스 사용 가능 -가스 제어 방식 : MFC 기반 자동 제어 -가스 밸브 및 레귤레이터 -가스 매니폴드 및 관련 배관 일체 | 1 | ||||||||||
| 3 | . | 진공 및 펌핑 유닛 | |||||||||
| -진공 펌프 : Dry Pump 및 Turbo Pump 구성 -도달 진공도 : 1×10⁻⁶ mbar 이하 -진공 게이지 : Baratron, Pirani Gauge -진공 밸브 및 배관 : 버터플라이 밸브, 매니폴드, 펌프 라인 포함 | |||||||||||
| 4 | 이송·구동(스테이지) 유닛 | ||||||||||
| -시편 로딩 및 이송 메커니즘 -Ball Screw, LM Guide -Servo Motor 및 구동부 -Stage 및 지지 구조물 일체 | 1 | ||||||||||
| 5 | . | 제어 및 전장 시스템 유닛 | |||||||||
| -제어반(Control Box) -PLC 기반 제어 시스템 -HMI 또는 산업용 터치 패널 기반 PC -온도 제어 시스템 : PID 제어 방식 -온도 센서 : 광학식 파이로미터 및 열전대(T/C) 병행 -공정 데이터 이력 관리 : 온도, 진공, 압력, 시스템 에러 자동 저장 | |||||||||||
| 6 | 인건비 및 설치비 | ||||||||||
| -장비 기계·전기 설계 -장비 조립 및 자체 시운전 -현장 반입 및 설치 -전기 배선 및 유틸리티 훅업 -성능 검증 및 사용자 교육 | |||||||||||
| 소 계 | - | ||||||||||
| 부 가 세 | |||||||||||
| 총 합 계 |
| 1. 품명 | 고온고진공열처리로 | ||
|---|---|---|---|
| 2. 수량 | 1 SET | 3. 작성일 | 2026년 03월 24일 |
| 4. 물품분류번호 | 23161596 | ||
| 5. 세부사양 (Specifications) | |||
| 가. 장비 특성 및 품질 1) 본 장비는 1800℃ 이상 고온(최대 2000℃) 및 고진공 환경에서 정밀 열처리(Annealing) 공정 수행이 가능한 연구용 장비이어야 한다. 2) 반도체 및 양자소자 공정에 적용 가능하도록 공정 재현성, 온도 안정성 및 진공 안정성을 확보 하여야 한다. 3) 공용 연구장비로서 다수 사용자 환경에서 안정적 운용이 가능하도록 자동화 제어 및 공정 데이터 관리 기능을 포함하여야 한다. 4) 고온 공정 중 산화 및 불순물 침착을 최소화할 수 있도록 고진공 및 불활성 가스 분위기 제어가 가능하여야 한다. 나. 상세규격 1) 열처리 성능 - 공정 온도 범위 : 400℃ ~ 2000℃ - 온도 제어 방식: PID 제어 방식 또는 동등 이상 - 온도 센서: 광학식 파이로미터 및 열전대(T/C) 병행 설치 또는 동등 이상 - 온도 컨트롤 Mode 설정: 광학식 파이로 미터 또는 열전대(T/C) 중 선택 가능한 Control mode 제공 - 온도 설정값에 따른 Offset 설정 Table 5개 이상 - 온도 설정값에 따른 진공 시스템과의 Interlock 기능 2) 진공 시스템 - 도달 진공도(Base Pressure) : 1×10⁻⁶ mbar 이하 - 진공 펌프: Dry Pump + Turbo Pump 구성 - 진공 측정: 공정 챔버 및 펌프 라인 압력 모니터링 가능 3) 공정 챔버 - 챔버 재질: 고온·고진공용 흑연 또는 동등 이상 재질 - 단열재: Graphite Felt 또는 동등 이상 - 공정 튜브(Process Tube): 고온·고진공 공정에 적합한 Graphite 기반 재질에 SiC 코팅 적용 또는 동등 이상의 내열·내오염 특성을 갖는 재질 - 처리 시편 크기: 최대 6인치 웨이퍼 이상 처리 가능 - 공정 압력: 대기압 및 진공 공정 선택 가능 4) 가스 제어 - 공정 가스: N₂, Ar, He 등 불활성 가스 사용 가능 - 가스 제어 방식: MFC 기반 자동 제어 또는 동등 이상 - 가스 제어 Full Scale 설정 및 알람 Range 설정 기능 - 공정 레시피에 따른 가스 및 압력 제어 가능 - 공정 레시피 알람 설정에 따른 Step Hold & Jump - 진공 Leak Check 기능으로 Leak Fail시 자동 Cycle Purge 또는 현상태 Hold 5) Robot 구동 - Semi-Auto 구동 : Vertical type의 Z축 구동 방식을 적용하여 시편 자동 Loading 기능을 제공하며, 공정 Recipe 종료 시 자동 Unloading 기능을 포함함 6) 제어 및 운영 시스템 - 운영체제: Windows 기반 PC 제어 - 사용자 인터페이스: 터치 모니터 또는 동등 이상 - 레시피 관리: 다중 레시피(100개 이상) 저장 및 자동 실행 가능 - 데이터 관리: 온도, 압력, 가스 유량 등 공정 데이터 실시간 모니터링 및 이력 저장 - 사용자 관리: 사용자별 ID 및 접근 권한 설정 가능 - 과온, 진공 이상, 가스 이상 발생 시 자동 차단 및 알람 기능 포함 7) 유틸리티 셋업 - 장비 운용에 필요한 1차 전기 공사 - 유틸리티 훅업 공사: 본 설비의 유틸리티 훅업은 Sub Fab(층고 4 m)–Fab(층고 3 m) 구조의 수직층류형 Fab 환경에서 기존 유틸리티 메인 배관을 활용하여 분기 연결하며, 장거리 배관 연장 조건을 고려하여 수행 · 가스 라인(N₂, He, Ar, CDA) · 냉각수(PCW) 라인 · 진공 배관 · 열배기 및 공정 배기 라인(스크러버 연계 포함) 다. 구성품 (악세사리 포함) 1) 열처리 성능 구현을 위한 가열 시스템 일체 2) 진공 시스템(Dry Pump, Turbo Pump) 3) 공정 챔버(단열재 포함) 4) 가스 제어 시스템(MFC, 배관 포함) 5) 시편 취급 및 자동화 구동 장치 6) 제어 및 운영 시스템(PC, 컨트롤러, 모니터 포함) 7) 유틸리티 셋업 라. 장비 설치 및 검수 - 장비 설치 및 조정 장비 공급자는 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하여야 하며, 장비 설치 완료 후 시운전을 통해 온도, 진공도, 가스 제어 및 자동 운전 기능이 본 사양서의 요구 성능을 충족함을 확인하여야 한다. 성능 검증 결과가 사양에 미달할 경우, 공급자는 무상으로 조정 또는 보완하여야 한다. 마. 교육훈련 - 장비와 관련된 교육은 별도로 울산과학기술원과 협의하여 실시한다. - 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한다. · 장비 작동법 교육 · 유지보수 교육 · 공정 레시피 설정 및 프로그래밍 교육 바. 하자보증 - 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다. - 하자보증 기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임하에 무상으로 수리되어야 한다. 사. 서비스 - 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 3일 이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 7일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다. - 부품의 교체가 필요한 경우에는 그 부품의 정확한 공급 가능 시점을 확인하여 울산과학기술원에 통보하고 승인을 받아야 한다. 아. 기타 - 설치 및 시운전 : 공급사 I자. 납기 - 계약일로부터 180일 이내 | |||
| 6. Remarks | |||
| (1) 설치 | 공급업체 | ||
| (2) Warranty | 1년 | ||
| (3) Training | 공급업체 |
바. 제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안 사고에 대한 민․형사상의 모든 책임을 진다. 4. 제안서 평가 가. 제안서의 평가는 본 원의 기술평가위원회를 통해 제안서류를 평가하고 필요시 제안업체별 제안발표회를 수행할 수 있다. 제안발표회를 실시할 시에는 발표일시 및 장소를 제안업체에게 사전 통보한다. 나. 각 항목별로 평가위원의 평가점수를 산술평균한 점수(소수점 3째 자리에서 반올림)를 100점 만점으로 환산하여 제안업체의 점수로 한다. 다. 평가항목에 따른 객관적인 증빙서류를 제출하지 못할 경우 해당항목은 영점처리 한다. 라. 제안서 평가결과를 나라장터 국가종합전자조달(http://www.g2b.go.kr)시스템‘개찰결과 상세조회’에 공개한다. ▸ 제안서평가 기관(수요기관)의 장은 제안서 평가 종료 후 평가결과를 개별업체 통보(평가위원별・항목별 평가점수) 후 전자조달 시스템 또는 수요기관 정보처리장치 등을 통해 3일 이상 공개하며, 평가결과 공개 시 평가위원명은 비공개한다. 단, 제안서 평가결과에 개인정보, 영업비밀 및 다른 법령에 따라 공개가 제한되는 정보가 포함되어 있을 경우 평가결과의 일부 또는 전부를 공개하지 아니할 수 있다. 이 경우 전자조달시스템 또는 발주기관의 정보처리장치에 제안서 평가결과를 공개하지 않는다는 취지와 그 사유를 게재하여야 한다. 5. 적격업체 선정방법
배점·평가
| 평가 항목 | 산정 방법 | 평점 | 평가 요소 | |
|---|---|---|---|---|
| 일반 부문 (20점) | 업체 현황 | 10점 | - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | |
| 기업신용도 | * 붙임 1의 경영상태에 따른 평점표에 따름 | - 신용평가등급 | ||
| 기술 부문 (60점) | 공고 규격의 적합성 | 30점 | - 물품사양서에 제시된 고온·고진공 열처리 성능 충족 여부 - 공정 온도 범위(400℃~2000℃) 및 온도 제어 방식의 적합성 - 진공 시스템 구성(Dry+Turbo Pump) 및 도달 진공도 적합성 - 공정 챔버 및 공정 튜브 재질의 적합성 - 가스 제어 및 공정 레시피 기반 자동 제어 기능 충족 여부 - 제어·운영 시스템(PC 기반, 데이터 관리 기능)의 완성도 | |
| 설비능력 | - 공정 재현성 및 운용 안정성 - 다수 사용자 환경에서의 공용 장비 운용 적합성 - 공정 데이터 관리 및 이력 관리 기능 - 유지관리 편의성 및 향후 확장성 - 장비 안전성 및 보호 기능의 우수성 | |||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | 사후 관리 | 10점 | - 장비 유지보수 및 A/S 체계 - 전담 인력 운영 계획 - 소모품 및 부품 수급의 안정성 - 하자보증 기간 및 범위 | |
| 추진 계획 /교육 훈련 | - 납품 및 설치 일정의 적정성 - 시운전 및 성능 검증 계획 - 장비 운용, 유지보수, 장비 교육 계획 - 기타 제안 사항 | |||
| 합 계 | 100점 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 3 | 1 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 | 1 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 |
| 회사채에 대한 신용평가등급 | 기업어음에 대한 신용평가등급 | 기업신용평가등급 | |
|---|---|---|---|
| AAA | 회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급 | 10 | |
| AA+, AA0, AA- | A1 | 회사채에 대한 신용평가등급 AA+, AA0, AA-에 준하는 등급 | 9.8 |
| A+ | A2+ | 회사채에 대한 신용평가등급 A+에 준하는 등급 | 9.6 |
| A0 | A20 | 회사채에 대한 신용평가등급 A0에 준하는 등급 | 9.4 |
| A- | A2- | 회사채에 대한 신용평가등급 A-에 준하는 등급 | 9.2 |
| BBB+ | A3+ | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB+에 준하는 등급 | 9 |
| BBB0 | A30 | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB0에 준하는 등급 | 8.8 |
| BBB- | A3- | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB-에 준하는 등급 | 8.6 |
| BB+, BB0 | B+ | 회사채에 대한 신용평가등급 BB+, BB0에 준하는 등급 | 8.4 |
| BB- | B0 | 회사채에 대한 신용평가등급 BB-에 준하는 등급 | 8.2 |
| B+, B0, B- | B- | 회사채에 대한 신용평가등급 B+, B0, B-에 준하는 등급 | 8 |
| CCC+ 이하 | C 이하 | 회사채에 대한 신용평가등급 CCC+에 준하는 등급 | 7.8 |
| 평 가 항 목 | 배점 | 평가 | 기타 | |
| 일반부문 (20점) | o 업체 일반현황 - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | 10점 | ||
| o 기업신용도 - 신용평가에 따른 경영 상태 | ||||
| 기술부문 (60점) | o 공고 규격의 적합성 - 물품사양서에 제시된 고온·고진공 열처리 성능 충족 여부 - 공정 온도 범위(400~2000℃) 및 온도 제어 방식의 적합성 - 진공 시스템 구성 및 도달 진공도 적합성 - 공정 챔버 및 공정 튜브 재질의 적합성 - 가스 제어 및 공정 레시피 기반 자동 제어 기능 충족 여부 - 제어·운영 시스템(PC 기반, 데이터 관리 기능)의 완성도 | 30점 | ||
| o 설비능력 - 공정 재현성 및 운용 안정성 - 다수 사용자 환경에서의 공용 장비 운용 적합성 - 공정 데이터 관리 및 이력 관리 기능 - 유지관리 편의성 및 향후 확장성 - 장비 안전성 및 보호 기능의 우수성 | ||||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | o 사후 관리 및 추진체계 - 장비 유지보수 및 A/S 체계 - 전담 인력 운영 계획 - 소모품 및 부품 수급의 안정성 - 하자보증 기간 및 범위 | 10점 | ||
| o 교육훈련 및 기타 제안 - 납품 및 설치 일정의 적정성 - 시운전 및 성능 검증 계획 - 장비 운용, 유지보수, 장비 교육 계획 - 기타 제안 사항 | ||||
| 합 계 | 100점 |